CMPクロス用ブラシ

CMP用途で使用される不織布クロスのコンディショニングに最適です。
研磨加工精度の向上に寄与します。

●樹脂素材のブラシでクロスを必要以上に摩耗させません。
●研磨後に残存する研磨屑の除去、硬化したクロス表面の清掃に最適です。

【用途】
・CMPクロス（FL13、FL05、FP65）などのコンディショニング

●設置状況


CMPクロス	CMPパッド	コロイダルシリカ研磨剤	ケミカルリキッド

ポリシング用アルミ盤（ツバ付き）

CMPクロス用ブラシは精密研磨装置で使用する消耗品です。


MA-150	MA-200	MA-200e	MA-300e


MA-400e	MM-200


シフトワックス(角棒)	シフトワックス(丸棒)	フタリックグルー	アルコワックス

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