精密研磨装置 MA-200
使い勝手が良く、精度の高い研磨装置です。
研究開発用の試料作成に適しています。
特長
●MA-200のタイマー機能と自動噴霧装置MS-2で自動研磨作業が手軽に行えます。
●研磨精度は平坦度λ/10以下、表面荒さ0.01μm以下が容易に得られます。
●エッジのダレが無く、介在物の脱落も無いためEPMA等での評価に最適です。
●ICの断面、傾斜研磨、LN等の光学結晶の端面の研磨に適しております。
●MA-200用の各種研磨用冶具・アタッチメントをご用意しております。
●操作盤
切替スイッチ | スピード調節ボリューム | タイマー |
RUNモード/STOP/TIMERモードの切替が容易に行えます。 | 研磨盤の回転速度を無段階調節することが可能です。 | 研磨時間の設定が可能です。 (上限99分59秒まで) |
仕様
装置型番 | MA-200 |
本体寸法 | W390mm × D510mm × H210mm |
本体重量 | 25kg |
研磨盤寸法 | Φ200mm, Φ203mm |
回転速度 | 0~200rpm (アナログコントローラ連続可変) |
回転表示 | ボリューム表示 |
タイマー | デジタルタイマー (上限99分59秒まで) |
モーター | スピードコントロールモーター120W |
入力電源 | AC100V |
付属装置用AC電源 | タイマー連動コンセント2ヶ (背面設置) |
アクセサリー | コロ式1ヶ所, パンタ式2ヶ所 |
排水口 | 外径Φ21mm 排水ホース外径Φ27mm (背面) |
カバー | 塩化ビニルカバー (オプション) |
冶具
コロ式保持ユニット | パンタ式保持ユニット |
埋め込み試料ホルダー | 多目的ホルダー | TEMホルダー | 高精度ホルダー |
3ヶ掛け・6ヶ掛け | 傾斜・挟み付け | 平行精度±2µm | 平行精度±1µm |
……他、各種冶具をご案内致します。
消耗品
シフトワックス(角棒) | シフトワックス(丸棒) | フタリックグルー | 耐水研磨紙 |