研磨盤
ダイヤモンド焼付けディスク
ダイヤモンド焼付けディスク |
ダイヤモンドをレジンボンドで固定した研磨盤です。
仕上げ研磨前の予備研磨(面出し工程)での使用に適しています。
耐水研磨紙と比較して耐久性が高く、ダイヤモンド層が無くなるまで使用できます。
型式 | 砥粒 | 工程 |
SDC | #80 ~ #4000 | 予備研磨 |
グラインディングプレート(固定砥粒式)
グラインディングプレート (固定砥粒式) |
試料のグラインディングに適したダイヤモンド埋め込み研磨パッドです。
耐水研磨紙の代替品として高い研削能力を発揮します。
型式 | 砥粒 | 工程 |
type 0 | #80 | 粗研磨 |
type 1 | #120 ~ #180 | 粗研磨 |
type 2 | #220 ~ #320 | 粗研磨 |
type 3 | #600 | 粗研磨 |
type 4 | #1200 | 粗研磨 |
グラインディングディスク(遊離砥粒式)
NL ブルー盤 | NL グリーン盤 | NL イエロー盤 |
複数の金属材料を樹脂接着した研磨盤です。
数百µm単位での研磨作業に適しています。
型式 | 砥粒 | 工程 |
MM 490盤 | 9µm | 粗研磨 |
NL ブルー盤 | 9µm ~ 45µm | 粗研磨 |
NL グリーン盤 | 3µm ~ 15µm | 中仕上げ研磨 |
NL イエロー盤 | ≤ 3µm | 仕上げ研磨 |
ラッピングディスク(遊離砥粒式)
MF 銅盤 | HP セラミック盤 | HP TX盤 | MF プラスチック盤 |
MF 錫盤 |
金属材料などを樹脂接着した仕上げ用研磨盤です。
平坦性が高く、エッジのシャープさを保った研磨を実現しました。
数十µmから数µm単位での研磨に適しています。
型式 | 砥粒 | 工程 |
MF 銅盤 | 2µm ~ 6µm | 仕上げ研磨 |
HP セラミック盤 | 0.5µm ~ 3µm | 仕上げ研磨 |
HP TX盤 | 0.25µm ~ 3µm | 仕上げ研磨 |
MF プラスチック盤 | 0.5µm ~ 1µm | 仕上げ研磨 |
MF 錫盤 | 0.1µm ~ 1µm | 仕上げ研磨 |
ポリシング用アルミ盤
ポリシング用アルミ盤 | アルミ盤(押さえリング付き) | アルミ盤(ツバ付き) | 耐水研磨紙 |
耐水研磨紙やポリシングクロスを貼り付けて使用するアルミ盤です。
テフロンコーティング仕様のアルミ盤ではクロスの貼り替えが簡易に行えます。
型式 | 粒度 | 工程 |
耐水研磨紙 | P60 ~ P2000 | 粗研磨・中仕上げ研磨 |
ポリシングクロス
ポリシングクロス |
素材に天然繊維および合成繊維を用いた研磨クロスです。
砥粒の小さい研磨剤と合わせて仕上げ研磨で使用します。
型式 | 砥粒 | 試料 | 工程 |
2TS4 | 1µm ~ 6µm | 高硬質 | 中仕上げ研磨 仕上げ研磨 最終仕上げ研磨 CMP研磨 |
2TS5 | 0.5µm ~ 6µm | 半硬質~硬質 | |
2TS8 | 0.5µm ~ 6µm | 半硬質~硬質 | |
4FV1 | 0.015µm ~ 3µm | 軟質 |
CMP用品
CMPクロス | CMPパッド |
CMP(科学機械研磨)工程で使用する研磨用品です。
アルミ盤(ツバ付き)に貼ることで、CMP溶液で満たした盤中で液中研磨を行うことが可能です。
また、平坦なアルミ盤に貼ることで、CMP溶液を滴下しての研磨が行えます。
ポリシングクロス等で取り切れなかった微細スクラッチ傷を取り除くことが可能です。
型式 | 砥粒 | 材質 | 工程 |
CMPクロス | 0.015µm ~ 0.0825µm | 特殊ポリエステル ポリウレタン |
CMP研磨 |
CMPパッド / IC1000 | 0.015µm ~ 0.0825µm | 特殊ポリウレタン | CMP研磨 |
研磨盤について
特長
精密な研磨作業を行うに当たって、研磨盤の選択が重要となります。
試料に含まれる材料・仕上がり目標を考慮し、最適な研磨盤をご提案いたします。
研磨盤データ | 砥粒 / 粒度 | 予備 | 粗 | 中仕上げ | 仕上げ | 最終 | CMP |
ダイヤモンド焼付けディスク | #80~#4000 | ● | |||||
CAMEO® DISK Platinium type 0 | #80 | ● | |||||
CAMEO® DISK Platinium type 1 | #120~#180 | ● | |||||
CAMEO® DISK Platinium type 2 | #220~#320 | ● | |||||
CAMEO® DISK Platinium type 3 | #600 | ● | |||||
CAMEO® DISK Platinium type 4 | #1200 | ● | |||||
MM 490盤 | 9µm | ● | |||||
NL ブルー盤 | 9µm~45µm | ● | |||||
NL グリーン盤 | 3µm~15µm | ● | |||||
NL イエロー盤 | ≤ 3µm | ● | |||||
MF 銅盤 | 2µm~6µm | ● | |||||
HP セラミック盤 | 0.5µm~3µm | ● | |||||
HP TX盤 | 0.25µm~3µm | ● | |||||
MF プラスチック盤 | 0.5µm~1µm | ● | |||||
MF 錫盤 | 0.1µm~1µm | ● | |||||
耐水研磨紙 | P60~P2000 | ● | ● | ||||
ポリシングクロス 2TS4 | 1µm~6µm | ● | ● | ● | ● | ||
ポリシングクロス 2TS5 | 1µm~6µm | ● | ● | ● | ● | ||
ポリシングクロス 2TS8 | 1µm~6µm | ● | ● | ● | ● | ||
ポリシングクロス 4FV1 | 0.015µm~3µm | ● | ● | ● | ● | ||
CMPクロス | 0.015µm~0.0825µm | ● | |||||
CMPパッド IC1000 | 0.015µm~0.0825µm | ● |