ポリシング用アルミ盤（ツバ付き）

ポリシングクロスを貼り付けて使用するアルミ盤です。
外周にあるツバによりCMP液中研磨作業が可能です。

●ポリシングクロス（4FV1）やCMPパッドを貼り付けて使用するアルミ盤です。
●CMP用研磨剤などを使用して液中研磨作業が行えます。
●テフロンコーティング仕様のものは、より簡易に貼り替え作業を行うことが可能です。

●液中CMP研磨の概略図

製品名	ポリシング用アルミ盤（ツバ付き）
材質	アルミ（アルマイト処理）
粒度	0.015µm ~ 3µm
研磨剤	コロイダルシリカ研磨剤・ケミカルリキッド　……など
工程	中仕上げ研磨・仕上げ研磨・最終仕上げ研磨・CMP研磨
備考	研磨盤外周のツバにより、CMP研磨などの液中研磨作業が行えます。