精密研磨装置 MA-200e
※インターロック付塩化ビニルカバーはオプションです。
研究開発に最適な、精度の高い研磨装置です。
多様な冶具・アタッチメントに対応しており機能の拡張が可能です。
特長
●駆動系と剛性の改良を重ね、振動と騒音を抑えた研磨作業を実現しました。
●液晶タッチパネルを用いたデジタルオペレーションで操作性が向上しました。
●多種多様な研磨工程等のレシピをタッチパネルで一括管理が可能になりました。
●前世代機MA-200Dの冶具・アタッチメントを引き続きご使用頂けます。
●インターロック機構、漏電ブレーカー、非常停止スイッチ等、安全な作業に配慮したオプションへの追加仕様変更も短期間で可能です。
●MA-200e用の各種研磨用冶具・アタッチメントをご用意しております。
●シーケンス制御
メニュー画面 | マニュアルモード画面 | 研磨条件選択画面 |
研磨レシピの読み込み、 マニュアルモードの起動が可能です。 |
回転数や研磨時間を設定し、 試料の研磨作業が実行可能です。 |
研磨盤、研磨剤ごとに設定された 研磨レシピを選択することができます。 |
※メニュー画面・研磨条件選択画面はオプションです。
●アタッチメント
強制駆動保持ユニット | 揺動保持ユニット | 強制駆動揺動保持ユニット | ダイヤモンドバイト駆動機構 |
仕様
装置型番 | MA-200e |
本体寸法 | W390mm × D485mm × H270mm (カバー含まず) ※カバー装着時 W446mm × D485mm × H533mm (カバー閉扉時) W446mm × D718mm × H665mm (カバー開放時) |
本体重量 | 25kg |
研磨盤寸法 | Φ200mm, Φ203mm |
回転速度 | 0~200rpm |
回転表示 | 液晶タッチパネル デジタル表示 |
タイマー | 液晶タッチパネル デジタルタイマー (時間・分・秒の切替可能 上限99時間59分59秒まで) |
モーター | スピードコントロールモーター120W |
入力電源 | AC100V 5A |
付属装置用AC電源 | タイマー連動コンセント2ヶ (背面設置) |
アクセサリー | コロ式2ヶ所, パンタ式2ヶ所 |
排水口 | 外径Φ26mm 排水ホース外径Φ33mm (背面) |
カバー | インターロック付塩化ビニルカバー (オプション) |
非常停止スイッチ | 標準装備 |
漏電ブレーカー | 標準装備 |
冶具
コロ式保持ユニット | パンタ式保持ユニット |
埋め込み試料ホルダー | 多目的ホルダー | TEMホルダー | 高精度ホルダー |
3ヶ掛け・6ヶ掛け | 傾斜・挟み付け | 平行精度±2µm | 平行精度±1µm |
……他、各種冶具をご案内致します。
消耗品
シフトワックス(角棒) | シフトワックス(丸棒) | フタリックグルー | 耐水研磨紙 |