コロ式強制駆動揺動保持ユニット

強制駆動および揺動の両方の機能を備えています。
ホルダーを強制的に回転および揺動し、研磨盤の平面度を保ちながらの研磨が可能です。

特長

●試料ホルダーを強制的に回転させ研磨することで、工程を定量的に管理することが可能です。
●試料ホルダーを揺動することで研磨盤上全体を均一に使用し、研磨盤の平坦度を維持します。
●研磨盤の平面度を損ないにくいため、研磨時の試料表面も平坦に磨きやすくなります。
●研磨盤の平面度に倣いながらのフリーラップ式、平行研磨が可能なガイドリング式の2通りの研磨方法での使用が可能です。

動画

仕様

製品名	コロ式強制駆動揺動保持ユニット
取扱方法	研磨装置のアタッチメント装着箇所にベース板を取り付けボルトで固定します。コロ式強制駆動保持ユニットのベース板接触面の回転軸挿し込み口をベース板の回転軸へセットします。
対応研磨装置	MA-200e, MA-300e, MA-400e

コロ式強制駆動揺動保持ユニットは精密研磨装置で使用する冶具です。


MA-200e	MA-300e	MA-400e

冶具

フリーラップ式試料ホルダー


埋め込み試料ホルダー	挟み付けホルダー
3ヶ掛け・6ヶ掛け	3ヶ掛け

ガイドリング式試料ホルダー


埋め込み試料ホルダー	多目的ホルダー	TEMホルダー	高精度ホルダー
1ヶ掛け	傾斜・挟み付け	平行精度±2µm	平行精度±1µm

……以上が使用頻度の高いホルダー郡です。特注ホルダーの作製も承ります。

消耗品


シフトワックス(角棒)	シフトワックス(丸棒)	フタリックグルー	耐水研磨紙

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