試料保持ユニット

標準試料保持アタッチメント


コロ式試料保持ユニット	パンタ式試料保持ユニット	MA-150用試料保持ユニット

eタイプ研磨装置用試料保持アタッチメント


強制駆動保持ユニット	揺動保持ユニット	強制駆動揺動保持ユニット

※eタイプ研磨装置用試料保持アタッチメントはすべてコロ式試料保持ユニットです。

試料保持ユニットについて

特長

精密研磨装置による自動研磨作業には、試料ホルダーを保持する試料保持ユニットが必要となります。使用する試料ホルダーに合わせた試料保持ユニットをお選びください。また、eタイプ研磨装置用試料保持ユニットを搭載することで試料ホルダーを強制的に駆動させての作業や、試料ホルダーを揺動させて研磨盤の平面度を保ちながらの作業が可能となります。

試料保持ユニットデータ	研磨方式	使用頻度の高い試料ホルダー
コロ式試料保持ユニット	ガイドリング式	真空チャック式ホルダー
		高精度ホルダー
		TEMホルダー
		多目的ホルダー
		貼付けホルダー
		1ヶ掛け埋め込みホルダー
	フリーラップ式	埋め込みホルダー
	フリーラップ式	挟み込みホルダー
パンタ式試料保持ユニット	フリーラップ式	埋め込みホルダー
パンタ式試料保持ユニット	フリーラップ式	挟み込みホルダー

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