コロ式試料保持ユニット

試料ホルダーを保持するためのY字型保持ユニットです。
ホルダーのサイズに合わせ、Y字型アームの角度調整が可能です。

特長

●貼付けホルダーや、ガイドリング仕様の各種ホルダー、真空チャックホルダー、TEMホルダーでの研磨作業時に使用します。
●Y字型アーム先端に取り付けられた2個のコロ軸ローラーによって試料ホルダーを保持し、研磨作業時のスムーズな回転を助けます。
●アームの開き角度、保持ユニット支柱の回転により試料ホルダーの位置調整が可能です。
●研磨盤の平面度に倣いながらのフリーラップ式、平行研磨が可能なガイドリング式の2通りの研磨方法での使用が可能です。

●コロ式試料保持ユニットでの研磨の様子

※写真はMA-200取り付け時

仕様

製品名	コロ式試料保持ユニット
取扱方法	研磨装置のアタッチメント装着箇所に支柱を取り付け、その上にコロ式試料保持ユニットをセットします。コロ式保持ユニットはアームの開き角度および支柱の回転により、研磨盤上で試料ホルダーの位置決めが可能となっております。
対応研磨装置	MA-200, MA-200e, MA-300e, MA-400e

コロ式試料保持ユニットは精密研磨装置で使用する冶具です。


MA-200	MA-200e	MA-300e	MA-400e

冶具

フリーラップ式試料ホルダー


埋め込み試料ホルダー	挟み付けホルダー
3ヶ掛け・6ヶ掛け	3ヶ掛け

ガイドリング式試料ホルダー


埋め込み試料ホルダー	多目的ホルダー	TEMホルダー	高精度ホルダー
1ヶ掛け	傾斜・挟み付け	平行精度±2µm	平行精度±1µm

……以上が使用頻度の高いホルダー郡です。特注ホルダーの作製も承ります。

消耗品


シフトワックス(角棒)	シフトワックス(丸棒)	フタリックグルー	耐水研磨紙

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