高精度ホルダー

必要な研磨量を設定しての自動精密研磨が可能です。
透過電子顕微鏡用の試料作製や、SiウェハーやInP等の化合物半導体の薄片化に最適です。

特長

●設定された研磨量の自動研磨が可能なホルダーです。
●研磨量の設定精度は±3μm以下 (最少読みとり1μmのダイヤルゲージ付き)で調整可能です。
●研磨後の平行精度を±1µm以内に収めることが可能です。
●バックラッシュゼロのストッパー付きです。
●ストローク幅は5mmです。
●ご希望角度の斜め研磨用貼付け板もご用意可能です。
●スプリングによる荷重軽減タイプ、埋め込み樹脂用もございます。
●オプションとして微小傾き調整用2軸ゴニオもご用意いたします。

【用途例】
・透過電子顕微鏡(TEM)用の試料作製
・研磨量制御が必要な試料作製
・SiウェハーおよびInP等の化合物半導体の薄片化

仕様

製品名	高精度ホルダー
対応保持ユニット	コロ式
型式	HPJ-68	HPJ-78	HPJ-89	HPJ-100	HPJ-120
貼付け板	Φ68mm	Φ78mm	Φ89mm	Φ100mm	Φ120mm
ホルダー外径	Φ98mm	Φ107mm	Φ130mm	Φ130mm	Φ150mm
試料厚み	t5mm
試料取り付け	シフトワックス等の熱ワックスにより貼付け板に貼り付けた後、ホルダーのノックピンに貼付け板のピン穴を合わせながらセットします。
標準付属品	研磨量設定リングホルダースタンドウェイト（200g, 400g, 500g, 800g, 1600g）
オプション	・低荷重仕様・包埋試料仕様・2軸ゴニオ仕様・リテーナー仕様・より厚い試料に対応した仕様も可能です。

高精度ホルダーは精密研磨装置で使用する冶具です。


MA-200	MA-200e	MA-300e	MA-400e

消耗品


シフトワックス(角棒)	シフトワックス(丸棒)	フタリックグルー	耐水研磨紙

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