真空チャック式ホルダー

真空引きで試料を固定し、指定した研磨量の自動研磨が可能です。
透過電子顕微鏡用の試料作製や、SiウェハーやInP等の化合物半導体の薄片化に最適です。
ワークはオリフラ付きガラス板にエポキシ接着し、ホルダー吸着面に固定します。

●設定された研磨量の自動研磨が可能なホルダーです。
●研磨量の設定精度は±3μm以下 (最少読みとり1μmのダイヤルゲージ付き)で調整可能です。
●研磨後の薄片厚み精度を±1µm以内に抑えます。
●バックラッシュゼロのストッパー付きです。
●ストローク幅は5mmです。

【用途例】
・2インチ～4インチウェハーやウェハーチップの精密研磨
・バックサイドSIMS試料作成用の多膜層付きのウェハーチップ（□5mm～□10mm）のSi基盤を残り厚み1μm～2µmまでの研磨

製品名	真空チャック式ホルダー
対応保持ユニット	コロ式
型式	PJ-2	PJ-3	PJ-4
外径	Φ98mm	Φ130mm	Φ140mm
ガラス板　径	Φ2in.	Φ3in.	Φ4in.
試料厚み	t5mm
試料取り付け	ウェハー形状のサンプル、または接着剤を用いてサンプルを固定したガラス板を、ホルダー底部に設置し真空引きします。
標準付属品	研磨量設定リングホルダースタンド専用ウェイト

真空チャック式ホルダーは精密研磨装置で使用する冶具です。


MA-200	MA-200e	MA-300e	MA-400e


シフトワックス(角棒)	シフトワックス(丸棒)	フタリックグルー	耐水研磨紙

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