コロイダルシリカ研磨剤
試料の歪み、変質層、微細スクラッチ傷を取り除くことが可能です。
化合物、サファイア、ガラスなどの研磨に最適です。
特長
●高濃度コロイダルシリカを用いたCMP用研磨剤です。
●砥粒の均一性、分散性に優れています。
●化合物、サファイアなどのCMP研磨に最適です。
【用途】
・酸化ガリウム（Ga2O3）
・フッ化カルシウム（CaF2）
・ゲルマニウム酸ビスマス（Bi4Ge3O12）
・タンタル酸リチウム（LiTaO3）
・ニオブ酸リチウム（LiNbO3）
・サファイア
・ガラス
・セラミックス ……など
仕様
| 製品名 | コロイダルシリカ研磨剤 | ||||
| 容量 | 20kg, 2kg | ||||
| 型式 | 20 | 50 | 80 | 120 | EXIII |
| 粒径（μm） | 0.015 | 0.04 | 0.072 | 0.0825 | 0.0325 |
| pH値 | 9.2 | 10.2 | 10.2 | 9.2 | 9.5 |
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| CMPクロス | CMPパッド | コロイダルシリカ研磨剤 | ケミカルリキッド |
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| ポリシング用アルミ盤（ツバ付き） |
コロイダルシリカ研磨剤は精密研磨装置で使用する研磨剤です。
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| MA-150 | MA-200 | MA-200e | MA-300e |
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| MA-400e | MM-200 |
消耗品
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| ダイヤモンドスラリー | ダイヤモンド液 | WA研磨剤 | GC研磨剤 |
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| OSオイル | アルミナ研磨剤 | 酸化セリウム研磨剤 | コロイダルシリカ研磨剤 |
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| ケミカルリキッド |
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| シフトワックス(角棒) | シフトワックス(丸棒) | フタリックグルー | アルコワックス |
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