CMPパッド用ドレッサー

CMP用途で使用されるウレタンパッドのコンディショニングに最適です。
研磨加工精度の向上に寄与します。

●電着されたダイヤモンド砥材によってパッド表面を除去し新規の面を出すことが可能です。
●研磨後に残存する研磨屑の除去、硬化したクロス表面の清掃に最適です。

【用途】
・CMPパッド（IC1000、IC1400）などのコンディショニング

●設置状況


CMPクロス	CMPパッド	コロイダルシリカ研磨剤	ケミカルリキッド

ポリシング用アルミ盤（ツバ付き）

CMPパッド用ドレッサーは精密研磨装置で使用する消耗品です。


MA-150	MA-200	MA-200e	MA-300e


MA-400e	MM-200


シフトワックス(角棒)	シフトワックス(丸棒)	フタリックグルー	アルコワックス

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