ポリシング用アルミ盤

耐水研磨紙やポリシングクロスを取り付けて使用する台座盤です。
耐水研磨紙と蒸留水のみを使用して研磨作業が可能です。

特長

●耐水研磨紙やポリシングクロス、CMPクロス（裏面のり付き）を貼り替えて使用可能です。
●テフロンコーティング仕様では貼り替え作業を効率的に行うことができ、表面にのりが残りません。
●押さえリング付きアルミ盤は耐水研磨紙をアルミ盤上に外周リングで固定し、異なる番手への変更はリングの脱着により容易に行うことが出来ます。

●標準仕様とテフロンコーティング仕様の差異

左図が標準仕様のもの。右図がテフロンコーティング仕様のもの。
研磨盤裏面は標準仕様が黒く、テフロンコーティング仕様は銀色になっています。
テフロンコーティングを行うことで耐水研磨紙などが剥がしやすくなります。

仕様

製品名	ポリシング用アルミ盤
材質	アルミ（アルマイト処理）
寸法	Φ150mm, Φ200mm, Φ203mm, Φ300mm, Φ381mm, Φ400mm
適合製品	耐水研磨紙, ポリシングクロス, CMPクロス, CMPパッド
工程	予備研磨～ CMP
マグネットシステム	マグネットサポートディスクをポリシング用アルミ盤へ貼り付けることで、裏面が鉄板またはSUS430板のパッドなどを磁力で固定可能です。のりを用いた貼り替えよりも作業が容易になり作業効率が向上します。
備考	テフロンコーティング加工のもの、押さえリングを使用するものもございます。手研磨専用装置 MM-200には押さえリング付属ポリシング用アルミ盤が標準装備されております。また、押さえリングはΦ203mm盤専用の製品となります。


耐水研磨紙	ポリシングクロス	CMPクロス

●耐水研磨紙　規格早見表

ヨーロッパ規格 FEPA Grit	JIS規格番手	ミクロンサイズ
P60	#60	260µm
P80	#80	180µm
P120	#120	120µm
P150	#150	100µm
P220	#240	70µm
P400	#400	40µm
P600	#500	30µm
P800	#600	20µm
P1000	#800	18µm
P1200	#1000	15µm
P1500	#1200	10µm
P2000	#1500	8µm