コロ式揺動保持ユニット

コロ式揺動保持ユニット

試料ホルダーを揺動し、研磨盤の平面度を維持します。
研磨盤の平面度を保つため、試料表面をフラットに磨きやすくなります。

特長

●試料ホルダーを揺動することで研磨盤上全体を均一に使用し、研磨盤の平坦度を維持します。
●研磨盤の平面度を損ないにくいため、研磨時の試料表面も平坦に磨きやすくなります。
●研磨盤の平面度に倣いながらのフリーラップ式、平行研磨が可能なガイドリング式の2通りの研磨方法での使用が可能です。


仕様

製品名 コロ式揺動保持ユニット
取扱方法 研磨装置のアタッチメント装着箇所にベース板を取り付けボルトで固定します。コロ式強制駆動保持ユニットのベース板接触面の回転軸挿し込み口をベース板の回転軸へセットします。
対応研磨装置 MA-200e, MA-300e, MA-400e

コロ式揺動保持ユニットは精密研磨装置で使用する冶具です。

MA-200e MA-300e MA-400e

 

冶具

フリーラップ式試料ホルダー

埋め込み試料ホルダー 挟み付けホルダー
3ヶ掛け・6ヶ掛け 3ヶ掛け

ガイドリング式試料ホルダー

埋め込み試料ホルダー 多目的ホルダー TEMホルダー 高精度ホルダー
1ヶ掛け 傾斜・挟み付け 平行精度±2µm 平行精度±1µm

……以上が使用頻度の高いホルダー郡です。特注ホルダーの作製も承ります。

 

消耗品

シフトワックス(角棒) シフトワックス(丸棒) フタリックグルー 耐水研磨紙

 

 

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