精密研磨装置 / 研磨機

精密研磨装置

MA-150 MA-200 MA-200e
MA-300e MA-400e MM-200

 

精密研磨装置について

特長

ムサシノ電子の精密研磨装置は、長年培った装置設計のノウハウにより駆動系や剛性の改良を重ね続けてきました。
振動と騒音を最小限に抑えられており、あらゆるシーンで試料研磨が行えます。
加工したいサンプルに適した試料保持ユニットおよび試料ホルダーを選定することにより、多様なサンプル形状・加工目的に合わせた研磨加工を実現しました。
標準仕様のホルダーでは対応できない異形のサンプルも特注製品を用いることで加工が行えます。
研磨盤・研磨剤を適切に選択することで、多様な材質の試料を荒削りから鏡面仕上げ、CMP(化学機械研磨)まで研磨加工に対応可能です。
インターロック機構や漏電ブレーカー、非常停止スイッチ等の機能が装備され、作業者の安全に配慮した研磨作業を実現しています。
 

仕様

  1. 弊社の精密研磨システムは、ダイヤモンドラッピングという新方式です。
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  2. グラインディング盤・ラッピング盤(研磨盤)にはダイヤモンド砥粒を用いた精密研磨に最も適した複合材を用いております。
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  3. 研磨盤は熱的変形が少なく、研磨中も平面度を保つことができるため、硬さの異なるサンプルも平坦に研磨でき、平坦度はλ/10以下、表面の荒さ0.01μm以下の仕上がりが実現可能です。
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  4. 研磨盤は機械加工が容易なため、アタッチメントを研磨装置に取り付けることにより、平面度の保持・修正を再現性を持ってどなたでも行うことができます。この操作により盤の面ブレをゼロにすることが可能です。このアタッチメントはeタイプ(MA-200e, MA-300e, MA-400e)の精密研磨装置にのみ搭載可能です。
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  5. 研磨装置は構造上、高精度が保証されるよう設計されおり、面ブレは5μm以内となるよう仕上げられています。
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  6. 自動噴霧装置を用いてダイヤモンドスラリーを間欠噴射する方式を用いることで、人手が掛からず経済的な研磨作業が行えます。円筒状の試料ホルダーを研磨盤の上に設置することで、外側の周速と内側の周速との差でホルダーは自転し、研磨盤の回転とホルダーの自転によりサンプルが研磨されます。強制駆動装置も取付可能です。
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  7. 豊富な試料ホルダーをご用意いたします。X線回折光学系取り付けられる二軸ゴニオメータ付きラッピングアタッチメントを用いることで、結晶方位を修正しながらの研磨が可能となり非常に有効です。その他、真空チャック式ホルダー、ダイヤモンドストッパー付きホルダー揺動装置等、各種用意されております。

 

特注治具例

  • 光ファイバー研磨治具
  • 導波路端面研磨治具
  • 二軸ゴニオメータ付き研磨治具(結晶方位の修正及びオフアングル用)
  • X線回折装置への取り付けアタッチメント
  • 真空チャック式ホルダー (±1μ以下の精度のストッパー付き、及びダイヤルゲージ付き バックサイドSIMSに応用

……特注冶具のご要望はお気軽にご連絡ください。

 

冶具

試料保持ユニット

コロ式試料保持ユニット パンタ式試料保持ユニット MA-150用試料保持ユニット

試料ホルダー

高精度ホルダー 貼付けホルダー 埋め込みホルダー 挟み付けホルダー

……その他、多様な試料ホルダーをご提案致します。


eタイプ研磨装置用アタッチメント

強制駆動保持ユニット 揺動保持ユニット 強制駆動揺動保持ユニット 平面度修正用
ダイヤモンドバイト駆動機構

周辺機器 / 平面度修正用品

自動噴霧装置 MS-2 超音波洗浄機 WT-100M 平面度修正用
ダイヤモンド焼付けリング

……その他、多様な周辺機器をご用意致します。

 

消耗品

研磨盤 研磨剤
シフトワックス(角棒) シフトワックス(丸棒) フタリックグルー 耐水研磨紙

 

お見積り・お問い合わせは以下よりご連絡ください。

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