精密研磨装置 / 研磨機

MA-150 MM-200 MA-200
MA-200e MA-300e MA-400e

 

パーソナルタイプ研磨装置 MA-150

 

特長

MA-150はパーソナルタイプの研磨機でSEM、EPMA、TEM等の横に設置し、
1つの目的に対して1台を使用できるように設計開発されております。
そのため、タイマーやスラリーの自動噴霧装置を利用することにより、
自動研磨作業を実行でき、作業効率の向上が見込めます。
研磨工程は、自動研磨装置MA-200e、MA-300e等と同じです。
(試料保持ユニットはコロホルダーのみ)
主に小さいサンプルのみの作業となり、特にTEMのサンプル作りに最適です。
MA-200e、MA-300e等で蓄えられた研磨ノウハウとともに、
各種研磨のアクセサリーもご利用できます。
MA-150専用のTEMホルダーも用意しております。

お求めやすい価格を実現しました。

仕様

装置型番 MA-150
本体寸法 W240mm × D285mm × H441mm (カバー含む)
本体重量 12kg
研磨盤寸法 φ150mm
回転速度 0~180rpm (アナログコントローラ連続可変)
回転表示 ボリューム表示
タイマー デジタルタイマー (時間・分・秒の切替可能)
モーター スピードコントロールモーター40W
入力電源 AC100V
付属装置用AC電源 タイマー連動コンセント1ヶ (背面設置)
アクセサリー コロホルダ 2ヶ所
排水口 外径φ21mm 排水ホース外径φ27mm (背面)
カバー プラスチックカバー (標準装備)


手研磨専用装置 MM-200

特長

手軽に研磨が可能な手研磨専用装置です。
標準装備のボリューム、スイッチによる回転速度及び方向の変更が可能です。
弊社、自動研磨装置との研磨盤の互換性があります。

仕様

装置型番 MM-200
本体寸法 W330mm × D430mm × H200mm (ノズル含まず)
本体重量 20kg
研磨盤寸法 φ200mm, φ203mm
回転速度 0~330rpm (アナログコントローラ連続可変)
回転表示 ボリューム表示
回転方向 正回転 / 逆回転
タイマー なし
モーター スピードコントロールモーター90W
入力電源 AC100V
付属装置用AC電源  -
アクセサリー なし
排水口 排水ホース外径φ36mm (背面)
給水口 水道ホース内径φ15mm (背面)
研磨盤注水口 外径φ6mm ナイロンチューブ (ワンタッチジョイント)
カバー なし


超精密研磨装置 MA-200 標準形

※写真はコロ式試料保持ユニット及びTEM式試料ホルダーとの組み合わせになっております。

特長

使い勝手が良く精度の高い研磨装置で、研究開発用の試料作製に最適です。
金属と高分子から成る特殊研磨盤(MM盤、ケメット盤)やクロスを使用し、
ダイヤモンドスラリーを噴霧する方式のため、効率良く平面度の優れた研磨が行えます。

研磨精度は平坦度λ/10以下、表面荒さ0.01μm以下が容易に得られます。
エッジのダレが無く、介在物の脱落も無いためEPMA等での評価に最適です。
また、ICの断面、傾斜研磨、LN等の光学結晶の端面の研磨に適しております。

ダイヤモンドスラリーが自動的に噴霧され、
タイマー、スピードコントローラにより制御され各工程が自動的に進み経済的です。

お客様のニーズに合った豊富なアクセサリー群が用意されています。

仕様

装置型番 MA-200
本体寸法 W390mm × D510mm × H210mm
本体重量 25kg
研磨盤寸法 φ200mm, φ203mm
回転速度 0~200rpm (アナログコントローラ連続可変)
回転表示 ボリューム表示
タイマー デジタルタイマー (上限99分59秒まで)
モーター スピードコントロールモーター120W
入力電源 AC100V
付属装置用AC電源 タイマー連動コンセント2ヶ (背面設置)
アクセサリー コロ式1ヶ所, パンタ式2ヶ所
排水口 外径φ21mm 排水ホース外径φ27mm (背面)
カバー 塩化ビニルカバー (オプション)

 

超精密研磨装置 MA-200e

特長

長年ご評価をいただいてきた超精密研磨装置MA-200Dの後継機として、
全く新しいデザインで発売いたしました。
前代装置MA-200Dで使用していたアタッチメントの既納品も、
そのまま使用でき、多彩なラインアップでご利用いただけます。
従来の上定盤構造を踏襲しながら駆動系の改良と装置の剛性を向上させたことにより、
以前より大幅に振動と騒音を抑えました。

液晶タッチパネルを用いたデジタルオペレーションで操作性が向上しました。
シーケンス制御により外部機器との連携等拡張性のあるシステムです。(オプション)
プログラム研磨機能を搭載可能です。(オプション)
多種多様な研磨工程等のレシピをタッチパネルで一括管理が可能になりました。
(非常停止スイッチ、漏電ブレーカー、塩化ビニルカバー+インターロック、オプション)
等の安全に配慮した追加仕様変更も短期間で可能です。

その他お客様のニーズに合った豊富なアクセサリー群をご用意いたします。

シーケンス制御

▶ メニュー画面  ▶ マニュアルモード画面  ▶ 研磨条件選択画面 
研磨レシピの読み込み、
マニュアルモードの起動が可能です。
回転数や研磨時間を設定し、
試料の研磨作業が実行可能です。
研磨盤、研磨剤ごとに設定された
研磨レシピを選択することができます。

 

仕様

装置型番 MA-200e
本体寸法 W390mm × D485mm × H270mm (カバー含まず)

※カバー装着時
W390mm × D485mm × H533mm (カバー閉扉時)
W390mm × D718mm × H635mm (カバー開放時)

本体重量 25kg
研磨盤寸法 φ200mm, φ203mm
回転速度 0~200rpm
回転表示 液晶タッチパネル デジタル表示
タイマー 液晶タッチパネル デジタルタイマー
(時間・分・秒の切替可能 上限99時間59分59秒まで)
モーター スピードコントロールモーター120W
入力電源 AC100V 5A
付属装置用AC電源 タイマー連動コンセント2ヶ (背面設置)
アクセサリー コロ式2ヶ所, パンタ式2ヶ所
排水口 外径φ26mm 排水ホース外径φ33mm (背面)
カバー インターロック付塩化ビニルカバー (オプション)
非常停止スイッチ 標準装備
漏電ブレーカー 標準装備


超精密研磨装置 MA-300e

特長

本装置では3インチ、4インチのウェハー等、大きな試料についての研磨が可能です。
自動試料保持ユニットが3ヶ所に取り付け可能で効率の良い研磨作業を実現しました。
搖動装置を使用することで研磨精度の向上と盤の平坦度の維持が見込めます。
シーケンサ制御のプログラム化により研磨工程のレシピを一括管理が可能です。

緊急停止スイッチ、漏電ブレーカの標準装備により安心安全に作業していただけます。
塩化ビニルカバー+インターロック機能についても準標準装備でご用意いたします。

仕様

装置型番 MA-300e
本体寸法 W540mm × D570mm × H335mm
本体重量 71kg
研磨盤寸法 標準:φ300mm, 最大寸法:φ350mm
回転速度 0~150rpm
回転表示 液晶タッチパネル デジタル表示
タイマー 液晶タッチパネル デジタルタイマー
(時間・分・秒の切替可能 上限99時間59分59秒まで)
モーター スピードコントロールモーター200W
入力電源 AC100V 5A以上
付属装置用AC電源 タイマー連動コンセント2ヶ (背面設置)
アクセサリー コロ式3ヶ所
(揺動、強制駆動の場合は2ヶ所)
排水口 外径φ32mm 排水ホース外径φ42mm (背面)
カバー インターロック付塩化ビニルカバー (オプション)
非常停止スイッチ 標準装備
漏電ブレーカー 標準装備 (5A)

 

超精密研磨装置 MA-400e

特徴

本装置は高い精度で研削仕上げした上定盤に直接主軸が取り付けられております。
主軸に採用している高精度アンギュラベアリングの軸振れ調整を行う事により、
基準テーブル上で±10μm以内の面振れ精度を実現しました。
基準テーブルはステンレス製で、精度、強度、耐薬品性に優れ、耐久性も備えております。
ブラシレス直流モータは負荷変動による回転数の変化が無いため高精度の研磨が可能です。

自動研磨機構コロ保持ユニット、コロ式揺動保持ユニット等の
自動保持機構と各種試料ホルダーの組み合わせによって
電子材料、電子部品、セラミック、金属材料や、
TEM、SEM、SIMS試料の前処理、X線による方位出し等の高精密自動研磨を実現しました。

仕様

装置型番 MA-400e
本体寸法 W620mm × D650mm × H345mm (カバー含む)
本体重量 84kg
研磨盤寸法 標準:φ381mm 工場オプション:φ460mm
回転速度 0~150rpm (アナログコントローラ連続可変)
回転表示 液晶タッチパネル デジタル表示
タイマー 液晶タッチパネル デジタルタイマー
(時間・分・秒の切替可能 上限99時間59分59秒まで)
モーター スピードコントロールモーター400W
入力電源 AC200V3相 10A
付属装置用AC電源 タイマー連動コンセント2ヶ (背面設置)
研磨盤の回転に連動して100V出力
ダイヤモンド液自動噴霧装置、揺動装置用
その他研磨盤の回転に同期させて使用する装置用
アクセサリー コロ式5ヶ所, 揺動機構4ヶ所, 強制駆動2ヶ所
排水口 外径φ32mm 排水ホース外径φ42mm (背面)
カバー インターロック付塩化ビニルカバー (オプション)
非常停止スイッチ 標準装備
漏電ブレーカー 標準装備

 

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