研磨機

MA-150 MM-200 MA-200
MA-200e MA-300e MA-400e

 

パーソナルタイプ研磨装置 MA-150

 

特長

MA-150はパーソナルタイプの研磨機で、SEM.EPMA.TEM等の横に置き、1つの目的に対して1台を使用できるように設計されています。そのため、タイマーや、スラリーの自動噴霧装置を利用することにより、自動的に研磨ができ手間が掛かりません。
研磨工程は、MA-200,MA-300等と同じです。(試料保持ユニットはコロホルダーのみ)
小型化されているので小さい試料のみとなりますが、特にTEMのサンプル作りに最適です。
MA-200,MA-300等で蓄えられたノウハウとともに、各種研磨のアクセサリー関係もご利用できます。
専用のTEMホルダも用意しております。
お求めやすい価格設定となっております。(低価格を実現)

仕様

大きさ(本体) 横幅240mm×奥行285mm×高さ441mm(カバー込み)
重量 12Kg
研磨盤 150mmφ
回転速度 0~180rpm連続可変(アナログコントローラ)
回転表示 ボリューム表示
タイマー デジタルタイマー(秒、分、時間の切り換え可0~99.9M)
モータ スピードコントロールモータ 40W
入力電源 AC100V 50/60Hz
付属装置用AC電源 裏面にタイマー連動のコンセント1個
アクセサリー取付 2箇所 コロホルダのみ
排水口 裏面に外径21mmφ、排水ホース外径27mmφ
プラスチックカバー 標準

 

手研磨専用装置 MM-200

 

特長

手軽に研磨が可能です。
回転速度及び方向の変更が可能です。
弊社、自動機との研磨盤の互換性があります。

仕様

大きさ(本体) 横幅330mm×奥行430mm×高さ200mm(ノイズ含まず)
最高回転数 約330rpm
回転方向 逆転可能
電源電圧 AC100V
研磨盤サイズ 8inch
給水口 タケノコ継手外径φ16mm
排水口 蛇腹ホースφ32mm付

 

超精密研磨装置 MA-200 標準形

 

※写真はコロ式試料保持ユニット及びTEM式試料ホルダーとの組み合わせになっております。

特長

使い易く精度の高い研磨機で、研究開発用試料作りに最適です。
金属と高分子から成る特殊研磨盤(MM盤、ケメット盤)やクロスを使用し、それにダイヤモンドスラリーを噴霧する方式のため、効率良く平面度の優れた研磨が行えます。
研磨精度は平坦度λ/10以下、表面荒さ0.01μ以下が容易に得られます。
エッジだれが無く、介在物の脱落も無いのでEPMA等での評価に最適です。
また、ICの断面、傾斜研磨、LN等の光学結晶の端面の研磨にも最適です。
ダイヤモンドは自動的に噴霧し、タイマー、スピードコントローラを持っているので各工程は自動的に進み経済的です。
お客様のニーズに合った豊富なアクセサリー群が用意されています。

仕様

大きさ(本体) 横幅390mm×奥行510mm×高さ210mm
重量 25Kg
研磨盤 200mmφ
回転速度 0~200rpm
回転表示 目盛表示
タイマー デジタルタイマー(秒、分、時間の切り換え可0~99.9M)
モータ スピードコントロールモータ 120W
入力電源 AC100V 50/60Hz
付属装置用AC電源 2ケ タイマー連動
アクセサリー取付 コロ式は1箇所パンタ式は2箇所まで可能
排水口 右面に外径21mmφ、排水ホース外径27mmφ
塩ビカバー オプション

 

超精密研磨装置 MA-200e シーケンス制御機能付き(オプション)

特長

● 長年ご評価をいただいてきた超精密研磨装置MA-200Dの後継機として全く新しいデザインで発売しました。

● MA-200Dで使用していたアタッチメントの既納品もそのまま使用でき多彩なラインアップでご利用いただけます。

● 従来の上定盤構造を踏襲しながら駆動系の改良と装置の剛性を向上させたことにより、以前より大幅に振動と騒音を抑えました。

● タッチパネルを用いたデジタルオペレーションで操作性が向上しました。

● シーケンサ制御により外部機器との連携等拡張性のあるシステムです。(オプション)

● プログラム研磨機能を搭載可能です。(オプション)
多種多様な研磨工程等のレシピをタッチパネルで一括管理が可能です。

●(非常停止+漏電ブレーカ、カバー+インターロック、オプション)の追加仕様変更も短期間で可能です。

シーケンス制御はこんなに簡単

 

仕様

大きさ(本体) 390mm(W)×485mm(D)×270mm(H)
重量 25Kg
研磨盤 外径200mmφ
回転速度 0~200rpm
回転表示 液晶タッチパネルによるデジタル表示
タイマー タッチパネルデジタルタイマー0~99H59M59S
モータ スピードコントロールモータ 120W
入力電源 AC100V 5A アース付き
電源ヒューズ 5A
付属装置用AC電源 2ケタイマー連動 アース付き
アクセサリー取り付け コロ式パンタ式は2ヵ所まで可能
排水口 1ケ裏面に外径26mmφ(排水ホース外径33mmφ)
塩ビカバー オプション(インターロック付き)
非常停止スイッチ 標準装備
漏電ブレーカー 標準装備(5A)

 

超精密研磨装置 Model MA-300e

 

※写真はコロ式強制駆動搖動保持ユニット(オプション)との組み合わせ例で、耐酸仕様になっています。
右は標準MA-300e本体部です。

特長

MA-300eは3インチ、4インチのウェハーや、大きな試料についての研磨が可能です。 自動試料保持ユニットを3ヶ所に取り付けることが可能で効率の良い研磨作業が実現できます。
試料搖動装置を使用すると研磨面精度の向上と盤の平坦度の維持が見込めます。
シーケンサ制御のプログラム化により研磨工程のレシピを一括管理が可能です。
緊急停止停止ボタン、漏電ブレーカの標準装備により安全安心を配慮された装置です。
カバー+インターロック機能についても準標準装備で用意しています。

 

仕様

大きさ(本体) 540mm(W)×570mm(D)×335mm(H)
重量 71Kg
研磨盤 300mmΦ標準(350mmΦmax)
回転速度 0~150rpm
回転表示 液晶タッチパネルによるデジタル表示
タイマー タッチパネルデジタルタイマー0~99H59M59S
モータ スピードコントロールモータ 200W
入力電源 AC100V 50/60Hz 5A以上
電源ヒューズ サービスコンセント用(2A)
漏電ブレーカ 標準装備(5A)
非常停止スイッチ 標準装備
アクセサリー取り付け コロ保持ユニットの場合3ヶ所、
搖動、強制駆動、搖動強制駆動の場合は2ヵ所から選択できます。
サービスコンセント 2個(アース付き3ピン)研磨盤の回転モードに連動して100V出力
水受け 高さ調整式
排水口 裏面に1ヶ所 外径32mmΦ
付属ホース 外径42mmΦ

 

超精密研磨装置 Model MA-400e

 

装置の概要

本装置は高精度に研削仕上げした上定盤に直接主軸が取り付けられ、且つ主軸に採用している高精度アンギュラベアリングの軸振れ調整を行う事により、基準テーブル上で±10μm以内の面振れ精度を実現しています。尚、基準テーブルはステンレス製で、精度、強度、耐薬品性に優れ耐久性も備えております。又使用しているブラシレス直流モータは負荷変動による回転数の変化が無いため高精度の研磨が可能です。
本装置では自動研磨機構コロ保持ユニット、コロ式揺動保持ユニット等の自動保持機構と各種試料ホルダーの組み合わせにより電子材料、電子部品、セラミック、金属材料や、TEM, SEM、SIMS 試料の前処理、X線による方位出し研磨等の精密仕上げの自動研磨が可能です。

仕様

研磨盤外径 381mmφ標準
回転数 0~150rpm
回転速度設定 液晶操作パネルによるデジタル設定
回転速度表示 デジタル表示
タイマー設定値表示 デジタル(99H59M)
タイマー残時間表示 デジタル(99H59M59S)
アクセサリー設置可能箇所 コロ保持ユニット5ヶ所
揺動機構4ヶ所
強制駆動2ヵ所
サービスコンセント 2個(アース付3ピン)
研磨盤の回転に連動して100V出力
ダイヤモンド液自動噴霧装置、揺動装置用
その他研磨盤の回転に同期させて使用する装置用
ヒューズ 2A サービスコンセント用
モータ 400W DCブラシレスモータ(フラットトルク特性)
入力電源 3相AC200V 50/60Hz 5A以上
漏電ブレーカ 標準装備 (5A)
非常停止スイッチ 標準装備
排水口 後面に1箇所 外径32mmφ
付属ホース 外径41mmφ
大きさ 620mm(W)×650mm(D)×345mm(H)
重量 84Kg

 

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