精密研磨装置 MA-400e
研究開発用途に最適な精度研磨装置です。
多様な冶具・アタッチメントに対応しており機能の拡張が可能です。
特長
●駆動系と剛性の改良を重ね、振動と騒音を抑えた研磨作業を実現しました。
●液晶タッチパネルを用いたデジタルオペレーションで操作性が向上しました。
●多種多様な研磨工程等のレシピをタッチパネルで一括管理が可能になりました。
●高い精度で研削仕上げを施した上定盤に主軸を直接搭載しており、研磨精度を向上させます。
●主軸に高精度アンギュラベアリングを採用し、±10µm以内の面振れ精度を実現しました。
●ブラシレス直流モーターは負荷変動による回転数の変化が無いため、より高い精度の研磨作業が可能です。
●インターロック機構、漏電ブレーカー、非常停止スイッチ等、安全な作業に配慮したオプションへの追加仕様変更も短期間で可能です。
●自動研磨用保持ユニットと各種試料ホルダーの組み合わせにより、電子材料・電子部品・セラミック・金属材料の研磨、TEM・SEM・SIMS分析用の資料作成、X線による方位出し研磨など、様々な精密研磨作業が可能となります。
●シーケンス制御
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| メニュー画面 | マニュアルモード画面 | 研磨条件選択画面 |
| 研磨レシピの読み込み、 マニュアルモードの起動が可能です。 |
回転数や研磨時間を設定し、 試料の研磨作業が実行可能です。 |
研磨盤、研磨剤ごとに設定された 研磨レシピを選択することができます。 |
※メニュー画面・研磨条件選択画面はオプションです。
●アタッチメント
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| 強制駆動保持ユニット | 揺動保持ユニット | 強制駆動揺動保持ユニット | ダイヤモンドバイト駆動機構 |
仕様
| 装置型番 | MA-400e |
| 本体寸法 | W620mm × D650mm × H345mm (カバー含まず) ※カバー装着時 W700mm × D675mm × H645mm (カバー閉扉時) W700mm × D675mm × H1290mm (カバー開放時) |
| 本体重量 | 84kg |
| 研磨盤寸法 | 標準：Φ381mm |
| 回転速度 | 0~200rpm |
| 回転表示 | 液晶タッチパネル デジタル表示 |
| タイマー | 液晶タッチパネル デジタルタイマー (時間・分・秒の切替可能 上限99時間59分59秒まで) |
| モーター | スピードコントロールモーター400W |
| 入力電源 | AC200V3相 10A |
| 付属装置用AC電源 | タイマー連動コンセント2ヶ (背面設置) 研磨盤の回転に連動して100V出力 ダイヤモンド液自動噴霧装置、揺動装置用 その他研磨盤の回転に同期させて使用する装置用 |
| アクセサリー | コロ式5ヶ所, 揺動機構4ヶ所, 強制駆動2ヶ所 |
| 排水口 | 外径Φ32mm 排水ホース外径Φ42mm (背面) |
| カバー | インターロック付塩化ビニルカバー (オプション) |
| 非常停止スイッチ | 標準装備 |
| 漏電ブレーカー | 標準装備 |
冶具
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| コロ式保持ユニット | パンタ式保持ユニット |
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| 埋め込み試料ホルダー | 多目的ホルダー | TEMホルダー | 高精度ホルダー |
| 3ヶ掛け・6ヶ掛け | 傾斜・挟み付け | 平行精度±2µm | 平行精度±1µm |
……他、各種冶具をご案内致します。
消耗品
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| シフトワックス(角棒) | シフトワックス(丸棒) | フタリックグルー | 耐水研磨紙 |
お見積り・お問い合わせは以下よりご連絡ください。
