真空チャック式ホルダー

真空チャック式ホルダー

真空引きで試料を固定し、指定した研磨量の自動研磨が可能です。
透過電子顕微鏡用の試料作製や、SiウェハーやInP等の化合物半導体の薄片化に最適です。
ワークはオリフラ付きガラス板にエポキシ接着し、ホルダー吸着面に固定します。

特長

●設定された研磨量の自動研磨が可能なホルダーです。
●研磨量の設定精度は±3μm以下 (最少読みとり1μmのダイヤルゲージ付き)で調整可能です。
●研磨後の薄片厚み精度を±1µm以内に抑えます。
●バックラッシュゼロのストッパー付きです。
●ストローク幅は5mmです。

【用途例】
・2インチ~4インチウェハーやウェハーチップの精密研磨
・バックサイドSIMS資料作成用の多膜層付きのウェハーチップ(□5mm~□10mm)のSi基盤を残り厚み1μm~2µmまでの研磨

 

仕様

製品名 真空チャック式ホルダー
対応保持ユニット コロ式
型式 PJ-2 PJ-3 PJ-4
外径 Φ98mm Φ130mm Φ140mm
ガラス板 径 Φ2in. Φ3in. Φ4in.
試料厚み t5mm
試料取り付け ウェハー形状のサンプル、または接着剤を用いてサンプルを固定したガラス板を、ホルダー底部に設置し真空引きします。
標準付属品 研磨量設定リング
ホルダースタンド
専用ウェイト

真空チャック式ホルダーは精密研磨装置で使用する冶具です。

MA-200 MA-200e MA-300e MA-400e

 

消耗品

シフトワックス(角棒) シフトワックス(丸棒) フタリックグルー 耐水研磨紙

 

 

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