パネル型サンプル用CMP研磨装置
MA-600e RECT
大型のパネル型サンプル（ガラス等）の表面CMP研磨に最適です。
上部揺動ユニットのフレキシブルパッドにてサンプル表面を一様に研磨することが可能です。
特長
●大型のパネル型サンプル（ガラス等）の表面CMP研磨を行うことを想定して開発された研磨装置です。
●回転台にサンプルを固定し、上部揺動ユニットのフレキシブルパッドにてサンプル表面を一様に研磨することが可能です。
●圧空方式を採用し、研磨荷重の微調整が可能になりました。
●本体に付属するタッチパネルでプログラム入力による簡単操作が可能です。
●シーケンス制御
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回転数設定 |
| 加圧軸回転数、およびワーク軸回転数の設定が可能です。 | |
| 揺動設定 | |
| 試料の揺動幅の設定、および揺動時の停滞時間の設定が可能です。 | |
| 時間設定 | |
| 連続運転時間の設定、およびタイマー設定時間の確認が可能です。 |
仕様
| 装置型番 | MA-600e RECT |
| 回転表示 | 液晶タッチパネル デジタル表示 |
| タイマー | 液晶タッチパネル デジタルタイマー (時間・分・秒の切替可能 上限99時間59分59秒まで) |
| カバー | 3面扉ガラスカバー |
| 非常停止スイッチ | 標準装備 |
| 漏電ブレーカー | 標準装備 |
消耗品
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| コロイダルシリカ | ケミカルリキッド |
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