Siウェハー電解研磨システム
電解研磨用の特注アタッチメントです。
Siウェハーを電解研磨するために設計されたものです。
特長
●eタイプ（MA-200e、MA-300e、MA-400e）の精密研磨装置に搭載することが可能です。
●電解研磨の様子
仕様
| 製品名 | Siウェハー電解研磨システム |
| シリンダー | 低摩擦仕様：Φ16mm 0.005～0.5 超低摩擦仕様：Φ20mm 0.05～0.5 |
| レギュレーター | 精密：0.05～0.8 感度：0.0016 繰り返し精度：0.004 |
| 圧力計 | デジタル 0.001～1.0 分解能：0.001 精度：0.01 |
| デジタル圧力計 | 精度：10g |
| 理論推力 | 0.16KgP～16.0KgP |
| 対応研磨装置 | MA-200e, MA-300e, MA-400e |
Siウェハー電解研磨システムは精密研磨装置で使用するアタッチメントです。
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| MA-200e | MA-300e | MA-400e |
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