自動研磨ユニット

*イメージのため、研磨装置に設置した写真を掲載しております。

コロ式試料保持ユニット

貼付ホルダや、ガイドリング使用の各種ホルダ、真空チャックホルダ、TEMホルダを使用する時に用います。

 

パンタグラフ式試料保持ユニット

埋め込み試料ホルダや、挟み付けホルダ等の回転中心部にベアリングを取り付けて使用します。

 

コロ式強制駆動保持ユニット

研磨工程を定量的に管理する時に用います。

 

コロ式揺動保持ユニット

 

研磨盤の片側全体を均一に使用するため盤の平坦度が維持されます。

 

コロ式強制駆動揺動保持ユニット

強制駆動と揺動の両方の保持ユニットのメリットが取り込まれています。

 

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