高精度ホルダー

高精度ホルダー

必要な研磨量を設定しての自動精密研磨が可能です。
透過電子顕微鏡用の試料作製や、SiウェハーやInP等の化合物半導体の薄片化に最適です。

特長

●設定された研磨量の自動研磨が可能なホルダーです。
●研磨量の設定精度は±3μm以下 (最少読みとり1μmのダイヤルゲージ付き)で調整可能です。
●研磨後の平行精度を±1µm以内に収めることが可能です。
●バックラッシュゼロのストッパー付きです。
●ストローク幅は5mmです。
●ご希望角度の斜め研磨用貼付け板もご用意可能です。
●スプリングによる荷重軽減タイプ、埋め込み樹脂用もございます。
●オプションとして微小傾き調整用2軸ゴニオもご用意いたします。

【用途例】
・透過電子顕微鏡(TEM)用の試料作製
・研磨量制御が必要な試料作製
・SiウェハーおよびInP等の化合物半導体の薄片化

 

仕様

製品名 高精度ホルダー
対応保持ユニット コロ式
型式 HPJ-68 HPJ-78 HPJ-89 HPJ-100 HPJ-120
貼付け板 Φ68mm Φ78mm Φ89mm Φ100mm Φ120mm
ホルダー外径 Φ98mm Φ107mm Φ150mm Φ130mm Φ150mm
試料厚み t5mm
試料取り付け シフトワックス等の熱ワックスにより貼付け板に貼り付けた後、ホルダーのノックピンに貼付け板のピン穴を合わせながらセットします。
標準付属品 研磨量設定リング
ホルダースタンド
ウェイト(200g, 400g, 500g, 800g, 1600g)
オプション ・低荷重仕様
・包埋試料仕様
・2軸ゴニオ仕様
・リテーナー仕様
・より厚い試料に対応した仕様も可能です。

高精度ホルダーは精密研磨装置で使用する冶具です。

MA-200 MA-200e MA-300e MA-400e

 

消耗品

シフトワックス(角棒) シフトワックス(丸棒) フタリックグルー 耐水研磨紙

 

 

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