試料ホルダーの回転挙動（コロ式）

コロ式試料保持ユニット設置時の外観

コロ式試料保持ユニットおよび試料ホルダー設置状況

ムサシノ電子の研磨装置では試料ホルダーの保持に、コロ式試料保持ユニットもしくはパンタ式試料保持ユニットを使用します。上の図は研磨装置にコロ式試料保持ユニットおよび試料ホルダー、研磨盤を設置した状況です。この状態で研磨盤の回転をスタートさせることで試料ホルダーの回転が始まります。

試料ホルダーの回転挙動

研磨盤が回転し始めるとコロ式試料ホルダーはその回転に引きつられ、コロ式試料保持ユニットのＹ字型アーム先端に付属しているローラーベアリングに押し当てられ回転します。研磨盤の回転および試料ホルダーの自転によってサンプルは一つの方向からのみではなく、あらゆる方向から研磨されます。上の図は実際の回転時の状況を模した画像です。

上記製品


精密研磨装置	コロ式試料保持ユニット	試料ホルダー

コロ式試料保持ユニットで使用可能な試料ホルダーは以下の通りです。

●フリーラップ式試料ホルダー
・埋め込み試料ホルダー（3ヶ掛け・6ヶ掛け）
・挟み付け試料ホルダー（3ヶ掛け）
・貼付け平板
●ガイドリング式試料ホルダー
・埋め込み試料ホルダー（1ヶ掛け）
・多目的ホルダー
・TEMホルダー
・高精度ホルダー

……以上が使用頻度の高いホルダー郡です。特注ホルダーの作製も承ります。

技術に関して不明な点などございましたら、お気軽にご連絡ください。