TEM用イオンミリング装置
Model 1051 TEM Mill
高品質TEM用試料を作成するためのイオンミリング装置です。
あらゆるサンプル、あらゆる用途に対して最適なイオンミリングを実行可能です。
特長
Model 1051 TEM Millはダメージのない高品質の透過型電子顕微鏡（TEM）用試料を作製するためのイオンミリング装置です。
特許技術のTrueFocusイオン源は、広範な加速電圧に対して細いビーム径を維持します。
イオンビームの加速電圧は100eV～10keVの範囲で、ミリング角度は-15°～+10°の範囲で任意に設定出来ますので、試料の高速ミリングから最終ポリッシングまであらゆる工程でご利用頂けます。
ロードロック機構（予備排気室）を搭載しており、試料の出し入れを迅速に行うことが可能です。
液体窒素冷却システム、ミリング位置微調整ホルダー、真空封入移動カプセルなど、オプション群も充実しています。
最新式のイオンミリング／ポリッシングシステムです。
あらゆる材質に対して、大面積の電子線透過領域を持つ高品質のTEM試料を作成する事が可能です。
仕様
| 製品型番 | Model 1051 |
| 本体寸法 | W660mm × D520mm × H330mm (本体) W660mm × D520mm × H620mm (実体顕微鏡含む) |
| 本体重量 | 73kg |
| イオン源 | ・2個のTrueFocusイオン源 ・加速電圧（100eV～10keV） ・ビーム電流密度（～10mA/cm2） ・ミリング角度（-15°～+10°） ・使用するイオン源の選択が可能（1個または2個） ・モーター駆動によるミリング角度の調整（ｵﾌﾟｼｮﾝ） |
| 試料ホルダー | ・作業性、放熱性を考慮したデザイン（ローディングステーション付き） ・クランプ機構により、影を作らずに0°までの両面ミリングが可能 ・X-Y方向の位置調整が可能な試料ホルダー及びローディングステーション（オプション） |
| 試料ステージ | ・360°連続回転（ビームシークエンス付き） ・ロッキング（首振り） |
| 試料冷却 （オプション） |
・内蔵デュワーを用いた液体窒素冷却（温度インターロック機構付き） ・アクセスのし易い位置にデュワーを配置 ・冷却時間： ・標準デュワー（3～5時間） ・拡張デュワー（18+時間） |
| 照明 | 試料上部（反射照明）及び試料下部（透過照明）の２つの照明を装備 |
| 自動停止 | タイマー、温度、レーザー検知（オプション）による制御 |
| 真空システム | ・ターボ分子ポンプ及びダイヤフラムポンプ(オイルフリー)による排気機構 ・コールドカソード及びフルレンジゲージによる真空度測定 |
| プロセスガス | ・アルゴンガス（99.999%）供給ガス圧15psi ・2つのマスフローコントローラーによる自動流量制御 |
| UI | ・10インチタッチパネル ・シグナルタワー（オプション） |
| 顕微鏡 （オプション） |
・ロードロック上部に下記顕微鏡の搭載が可能 ・7～45×実体顕微鏡 ・1,960×高倍率デジタルマイクロスコープ |
| 観察 イメージング |
・実体顕微鏡または高倍率デジタルマイクロスコープにより、ミリング位置にある試料の観察が可能（オプション） ・シャッターが自動開閉し、スッパタリングによる観察窓の汚れを防止 |
| 真空／不活性ガス 封入移動カプセル （オプション） |
封入移動カプセルを利用する事で、試料を真空下／不活性ガス下での試料の移動及び保管が可能 |
| 電源 | 100VAC 50/60Hz 720W |
| 保証期間 | 1年間 |
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