SEM用イオンミリング装置
Model 1061 SEM Mill
高品質SEM用試料を作成するためのイオンミリング装置です。
あらゆるサンプル、あらゆる用途に対して最適なイオンミリングを実行可能です。
特長
Model 1061 SEM Millはダメージのない高品質の走査型電子顕微鏡（SEM）用試料を作製するためのイオンミリング装置です。
2つのイオン源を装備しており、2方向からの高速ミリングが可能です。
サンプル位置の自動検出機能を搭載しており、あらゆる高さのサンプルに対してステージ位置を自動調整します。
オプションの断面試料用ローディングステーションを用いれば、ミリング位置と遮蔽マスクを正確にアラインメントできる為、高品質の断面試料が作成できます。
フォーカス調整によりビーム径の調整が出来ることも特徴で、あらゆるサンプル、あらゆる用途に対して最適なイオンミリングを行えます。
最新式のイオンミリング／ポリッシングシステムです。コンパクトで精密な装置構成で、あらゆる材質・用途に対して、高品質で再現性の高いSEM試料の作成が可能です。
仕様
| 製品型番 | Model 1061 |
| 本体寸法 | W660mm × D520mm × H330mm W660mm × D520mm × H620mm (実体顕微鏡含む) |
| 本体重量 | 73kg |
| イオン源 | ・TrueFocusイオン源（ビーム径が可変）を２つ搭載 ・加速電圧（100eV～10keV） ・ビーム電流密度（～10mA/cm2） ・ミリング角度（0°～+10°） ・ミリングに使用するイオン源の選択が可能 （シングルビーム又はデュアルビームを選択） ・手動またはモーター駆動（オプション）によるミリング |
| 角度設定 | ・左右イオン源の加速電圧を個別に制御 ・ビーム径が可変 |
| 試料ホルダー | ・平面ミリング用ホルダー ・包埋試料用ホルダー ・断面試料用ホルダー（オプション） |
| 試料ステージ | ・試料サイズ ・断面試料 最大：10mm×10mm×4mm 最小：3mm×3mm×0.7mm・平面試料 φ32mm×高さ25mm・試料の厚さを自動検知（赤色レーザーを使用） 360°連続回転（回転速度可変）・ロッキング（首振り） 磁気エンコーダーによる高精度な位置制御 |
| 断面試料用 ローディング ステーション （オプション） |
・平面ミリング用ホルダー ・包埋試料用ホルダー ・断面試料用ホルダー（オプション） |
| 試料冷却 （オプション） |
液体窒素により‐170℃までの冷却が可能 下記２種類のデュワーサイズから選択 ・標準タイプ：3～5時間の冷却 ・長時間タイプ：18時間以上の冷却 |
| 照明 | 試料上部（反射照明）及び試料下部（透過照明）の２つの照明を装備 |
| 自動停止 | タイマー、温度、レーザー検知（オプション）による制御 |
| 真空システム | ・ターボ分子ポンプ及びダイヤフラムポンプ(オイルフリー)による排気機構 ・コールドカソード及びフルレンジゲージによる真空度測定 |
| プロセスガス | ・アルゴンガス（99.999%）供給ガス圧15psi ・2つのマスフローコントローラーによる自動流量制御 |
| UI | ・10インチタッチパネル ・シグナルタワー（オプション） |
| 顕微鏡 （オプション） |
・ロードロック上部に下記顕微鏡の搭載が可能 ・7～45×実体顕微鏡 ・1,960×高倍率デジタルマイクロスコープ |
| 観察 イメージング |
・実体顕微鏡（7～45倍）または高倍率デジタルマイクロスコープ（1960倍）により、ミリング位置にある試料の観察が可能 ・シャッターが自動開閉し、観察窓がスッパタリングにより汚れることを防止 |
| 真空／不活性ガス 封入移動カプセル （オプション） |
真空中または不活性ガス中での試料の移動または保管が可能 |
| プロセスガス | アルゴン純度99.999% 圧力15psi（0.1MPa）流量0.2sccm イオン源 2つのマスフローコントローラーによる自動流量制御 |
| 電源 | 100VAC 50/60Hz 720W |
| 保証期間 | 1年間 |
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