プラズマクリーナー Model 1020
有機物による汚染物質（コンタミ）を除去するのに最適なプラズマクリーナーです。
低エネルギーの反応性プラズマの働きにより、試料の組成や性質を変えることなく、有機物質のみを除去することが可能です。
特長
●TEMの試験片および試験片ホールダーの汚れを完璧なまでに除去。
●TEMの分析・解像力を大幅にアップ。
●洗浄化による試験片の温度上昇や微細構造の変化が殆どない。
●フィリップス、日立ハイテクノロジーズ、日本電子、トプコン社等の側入式TEM試験片ホールダーが使用可能。
●高周波(HF)無電極プラズマ生成を利用。
●広範囲の処理ガスに対応。
●油分を寄せ付けない真空システムなので試験片の超洗浄化が可能。
●溶剤使用の洗浄過程への依存を最低減化。
Model 1020はTEMの試験片の汚れを除去するのに不可欠です。低エネルギー・高周波(HF)プラズマの採用により、材料研究用試験片から非晶化による悪影響や炭化水素汚染を効果的に取り除き、その表面を元素構成や構造上の特徴を変化させることなく清浄できます。超洗浄力を有する、油分を寄せ付けない真空システムは最高の試験片洗浄効果を発揮します。モデル1020は市販の全TEMの側入式試験片ホールダーの使用が可能です。
仕様
| 製品型番 | Model 1020 |
| 本体寸法 | W590mm × D520mm × H590mm |
| 本体重量 | 60.6kg |
| プラズマシステム | 高周波13.56MHz 振動磁場システム |
| イオンエネルギー | 12eV以下 |
| 試料ホルダー互換性 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ 日本電子株式会社 株式会社トプコン カールツァイス株式会社（ドイツ） FEIカンパニー（アメリカ） |
| 真空システム | 1 x 10-7 mbar |
| ガス | 酸素25%, アルゴン75% 供給圧力200kPa |
| 電源 | 100/120/220/240 V AC, 50/60 Hz, 660 W |
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