MPC-200e Xθアタッチメント
ダイシング加工の行えるアタッチメント
Xステージ、θステージの調整で板状サンプルの切り出しが可能です。
特長
●精密ブレードソー MPC-200eに取り付けることでダイシング加工が行なえます。
●ウェハー形状のサンプルから任意の寸法で切り出しが可能です。
●X方向への移動、テーブルの回転が可能です。
●□75mm、□100mmのブロックにサンプルを固定して切断可能です。
●Xθアタッチメント搭載時の様子
仕様
| 製品名 | Xθアタッチメント |
| ワークサイズ | □75mm、□100mm |
| 可動軸 | Xスライダー, 68mm回転ステージ |
| 備考 | 外径Φ125mmの砥石を使用して切断作業を行ってください。 |
Xθアタッチメントは精密ブレード切断機 MPC-200e のオプション冶具です。
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| MPC-200e |
消耗品
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| ダイヤモンド砥石 | GC砥石 | WA砥石 | 切削液 |
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| シフトワックス(角棒) | シフトワックス(丸棒) | フタリックグルー | 素焼板 |
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