SC-150

精密手動スクライバー SC-150

特長

SC-150は高いけがき精度を実現した精密手動スクライバーです。
最大φ150mmまでの試料を設置することが可能です。
試料に直接触れたり押さえたりする必要がありません。
人力に頼らない、バネの力で一定の圧力でのけがきを実現しました。
簡単な操作で断面観察用試料が容易に作成可能です。
省スペースでの開発実験および品質管理用に最適です。
標準仕様では25倍単眼鏡での観察が可能です。
(38倍単眼鏡またはCCDカメラをオプション品として設置可能です。)

CCDカメラ仕様(オプション)

拡大鏡の代わりにCCDカメラ仕様もご用意できます。
倍率5倍~60倍での観察が可能です。

仕様

装置型番 SC-150
本体寸法 W325mm × D299mm × H292mm
本体重量 15kg
ワークサイズ寸法 φ155mm × t4
適用試料 半導体ウェハー、サファイア、SiC、ガラス、セラミックス等
ワーク保持 真空チャック式
ステージ移動機構 マイクロメーター X方向=160mm
角度目盛り θ=360° 微調整機構
スクライブ用針 ポイント式ダイヤモンド針
ダイヤモンド刃 OS3P (Si,GaAs,Inp等)
3PR (サファイア、石英ガラス等)
ローラ刃 超硬ローラ刃
けがき長 Y方向=170mm
けがき荷重 10g~400g (標準)
けがき角度 50°~70°
拡大鏡 25倍単眼鏡 (オプション38倍単眼鏡)
CCDカメラ 5倍~60倍 (オプション)

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