SC-150

モデル SC-150

・試料サイズφ150mmまで対応可能です。

・SC-100と同様、25倍単眼鏡をCCDカメラに変更することも可能です。

仕様 SC-150

適用試料 半導体ウェハー、サファイヤ、SiC、ガラス、セラミックス等
試料サイズ 最大径155mm X 4t
試料取り付け方法 真空チャック式
ステージ移動 X方向=160mm(max) 微調整付き
ステージ回転 θ=360°微調整付き
けがき針 ポイント式ダイヤモンド針(超硬ローラ刃もあり)
けがき長 Y方向=170mm (max)
けがき荷重 10g~400g(標準)範囲変更可
けがき角度 50°~70°可変
拡大鏡 25倍
外形寸法 325W×299D×292H
重量 約15Kg

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