SC-150

精密手動スクライバー SC-150


高いけがき精度を実現したスクライバー装置です。
最大Φ150mmまでの試料をけがくことが可能です。

特長

●高いけがき精度を実現した精密手動スクライバーです。
●最大φ150mmまでの試料を設置することが可能です。
●試料に直接触れたり押さえたりする必要がありません。
●人力に頼らない、バネの力で一定の圧力でのけがきを実現しました。
●簡単な操作で断面観察用試料が容易に作成可能です。
●省スペースでの開発実験および品質管理用に最適です。
●標準仕様では25倍単眼鏡での観察が可能です。
(38倍単眼鏡またはCCDカメラをオプション品として設置可能です。)

●CCDカメラ仕様(オプション)


拡大鏡の代わりにCCDカメラ仕様もご用意できます。
倍率5倍~60倍での観察が可能です。

仕様

装置型番 SC-150
本体寸法 W325mm × D299mm × H292mm
本体重量 15kg
ワークサイズ寸法 φ155mm × t4
適用試料 半導体ウェハー、サファイア、SiC、ガラス、セラミックス等
ワーク保持 真空チャック式
ステージ移動機構 マイクロメーター X方向=160mm
角度目盛り θ=360° 微調整機構
けがき針 ポイント式ダイヤモンド針
ダイヤモンド刃 OS3P (Si,GaAs,Inp等)
3PR (サファイア、石英ガラス等)
ローラ刃 超硬ローラ刃
けがき長 Y方向=170mm
けがき荷重 10g~400g (標準)
けがき角度 50°~70°
拡大鏡 25倍単眼鏡 (オプション38倍単眼鏡)
CCDカメラ 5倍~60倍 (オプション)

 

冶具

破断冶具(2in.) 破断冶具(4in.) 破断冶具(ペンチ)

 

消耗品

けがき針(OS3P) けがき針(3RP) ローラー刃

 
 

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