精密手動スクライバー SC-300
高いけがき精度を実現したスクライバー装置です。
最小単位10μmのリニアスケールにより位置決め作業が可能です。
特長
●高いけがき精度を実現した精密手動スクライバーです。
●最大12インチまでのウェハーをけがくことが可能です。
●真空チャックにより試料に直接触れたり押さえたりせずに作業可能です。
●人力に頼らない、バネの力で一定の圧力でのけがきを実現しました。
●簡単な操作で断面観察用試料が容易に作成可能です。
●位置決め用に最小単位10µmのリニアスケールを採用しました。
●標準仕様では25倍単眼鏡での観察が可能です。
（38倍単眼鏡またはCCDカメラをオプション品として設置可能です。）
●CCDカメラ仕様（オプション）
拡大鏡の代わりにCCDカメラ仕様もご用意できます。
倍率5倍～60倍での観察が可能です。
仕様
| 装置型番 | SC-300 |
| 本体寸法 | W425mm × D460mm × H275mm |
| 本体重量 | 23kg |
| ワークテーブル寸法 | φ320mm |
| テーブル視野 | -150mm ～＋130mm |
| ワークサイズ寸法 | φ300mm × t4 |
| 適用試料 | － |
| ワーク保持 | 真空チャック式 シリコンゴムシート オプション |
| ステージ移動機構 | マイクロメーター X方向:160mm |
| ステージ回転機構 | 360° |
| 角度目盛り | ０～120° /1° 180°(分解能1° 読取) |
| ロック機構 | 付属 |
| けがき針 | ポイント式ダイヤモンド針 |
| ダイヤモンド刃 | OS3P (Si,GaAs,Inp等) 3PR (サファイア、石英ガラス等) |
| ローラ刃 | 超硬材 (118° 135° 150°) |
| けがき長 | Y方向:170mm |
| けがき荷重 | 0g～400g |
| けがき荷重調整 | ネジ式機構 (40g/1回転) |
| 加圧方式 | SPR式スイングヘッド |
| けがき角度 | 50°～70° |
| スクライブ軸 | Y軸 |
| 支持方式 | リニアレール門型支持 |
| 直進性 | 20μm以下 |
| ストローク | -155mm ～＋155ｍｍ |
| 拡大鏡 | 25倍単眼鏡 (オプション38倍単眼鏡) |
| CCDカメラ | 5倍～60倍 (オプション) |
冶具
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| 破断冶具（2in.） | 破断冶具（4in.） | 破断冶具（ペンチ） |
消耗品
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| けがき針（OS3P） | けがき針（3RP） | ローラー刃 |
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