精密手動スクライバー SC-100
低価格で高い精度を実現したスクライバー装置です。
簡単な操作で断面観察用試料が容易に作成可能です。
特長
●低価格で高いけがき精度を実現した精密手動スクライバーです。
●最大φ100mmまでの試料を設置可能です。
●直接手で試料に触れたり押さえたりする必要がありません。
●人力に頼らない、バネの力で一定の圧力でのけがきを実現しました。
●簡単な操作で断面観察用試料が容易に作成可能です。
●ワンタッチでの試料の角度設定を実現しました。
●省スペースでの開発実験および品質管理用に最適です。
●標準仕様では25倍単眼鏡での観察が可能です。
(38倍単眼鏡またはCCDカメラをオプション品として設置可能です。)
【用途】
・半導体ウェハー
・サファイア
・SiC
・ガラス
・セラミックス …など
●CCDカメラ仕様(オプション)
拡大鏡の代わりにCCDカメラ仕様もご用意できます。
倍率5倍~60倍での観察が可能です。
●LED仕様(オプション)
スクライブラインに合わせてLEDライトを搭載することで、けがき時のサンプル確認が容易になります。
仕様
装置型番 | SC-100 |
本体寸法 | W225mm × D212mm × H297mm |
本体重量 | 10kg |
ワークサイズ寸法 | φ100mm × t4mm |
適用試料 | 半導体ウェハー、サファイア、SiC、ガラス、セラミックス等 |
ワーク保持 | 真空チャック式 |
ステージ移動機構 | マイクロメーター X方向=100mm |
ステージ回転機構 | θ=360° 微調整機構 |
けがき針 | ポイント式ダイヤモンド針 (または超硬ローラ刃) |
ダイヤモンド刃 | OS3P (Si,GaAs,Inp等) 3PR (サファイア、石英ガラス等) |
けがき長 | Y方向=122mm |
けがき荷重 | 0g~350g (標準) |
けがき角度 | 50°~70° |
拡大鏡 | 25倍単眼鏡 (オプション38倍単眼鏡) |
CCDカメラ | 5倍~60倍 (オプション) |
冶具
破断冶具(2in.) | 破断冶具(4in.) | 破断冶具(ペンチ) |
消耗品
けがき針(OS3P) | けがき針(3RP) | ローラー刃 |