精密手動スクライバー SC-150
高いけがき精度を実現したスクライバー装置です。
最大Φ150mmまでの試料をけがくことが可能です。
特長
●高いけがき精度を実現した精密手動スクライバーです。
●最大φ150mmまでの試料を設置することが可能です。
●試料に直接触れたり押さえたりする必要がありません。
●人力に頼らない、バネの力で一定の圧力でのけがきを実現しました。
●簡単な操作で断面観察用試料が容易に作成可能です。
●省スペースでの開発実験および品質管理用に最適です。
●標準仕様では25倍単眼鏡での観察が可能です。
（38倍単眼鏡またはCCDカメラをオプション品として設置可能です。）
【用途】
・半導体ウェハー
・サファイア
・SiC
・ガラス
・セラミックス …など
●CCDカメラ仕様（オプション）
拡大鏡の代わりにCCDカメラ仕様もご用意できます。
倍率5倍～60倍での観察が可能です。
●LED仕様（オプション）
スクライブラインに合わせてLEDライトを搭載することで、けがき時のサンプル確認が容易になります。
仕様
| 装置型番 | SC-150 |
| 本体寸法 | W325mm × D299mm × H292mm |
| 本体重量 | 15kg |
| ワークサイズ寸法 | φ155mm × t4 |
| 適用試料 | 半導体ウェハー、サファイア、SiC、ガラス、セラミックス等 |
| ワーク保持 | 真空チャック式 |
| ステージ移動機構 | マイクロメーター X方向=160mm |
| 角度目盛り | θ=360° 微調整機構 |
| けがき針 | ポイント式ダイヤモンド針 |
| ダイヤモンド刃 | OS3P (Si,GaAs,Inp等) 3PR (サファイア、石英ガラス等) |
| ローラ刃 | 超硬ローラ刃 |
| けがき長 | Y方向=170mm |
| けがき荷重 | 10g～400g (標準) |
| けがき角度 | 50°～70° |
| 拡大鏡 | 25倍単眼鏡 (オプション38倍単眼鏡) |
| CCDカメラ | 5倍～60倍 (オプション) |
冶具
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| 破断冶具（2in.） | 破断冶具（4in.） | 破断冶具（ペンチ） |
消耗品
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| けがき針（OS3P） | けがき針（3RP） | ローラー刃 |
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