SC-100

モデル SC-100

・試料サイズφ100mmまで設置可能

・標準仕様は25倍単眼鏡、オプションで38倍単眼鏡や上部写真の様なCCDカメラを取り付けることも可能です。

・省スペースで置き場所を抑えることができます。

 

仕様 SC-100

適用試料 半導体ウェハー、サファイヤ、SiC、ガラス、セラミックス等
試料サイズ 最大径100mm
試料取り付け方法 真空チャック式
ステージ移動 X方向=100mm(max) 微調整付き
ステージ回転 θ=360°微調整付き
けがき針 ポイント式ダイヤモンド針(超硬ローラ刃もあり)
けがき長 Y方向=122mm (max)
けがき荷重 0g~350g(標準)範囲変更可
けがき角度 50°~70°可変
拡大鏡 25倍
外形寸法 225W×212D×297H
重量 約10kg

 

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