SC-100

精密手動スクライバー SC-100

特長

SC-100は低価格で高いけがき精度を実現した精密手動スクライバーです。
最大φ100mmまでの試料を設置可能です。

直接手で試料に触れたり押さえたりする必要がありません。
人力に頼らない、バネの力で一定の圧力でのけがきを実現しました。
簡単な操作で断面観察用試料が容易に作成可能です。
ワンタッチでの試料の角度設定を実現しました。
省スペースでの開発実験および品質管理用に最適です。
標準仕様では25倍単眼鏡での観察が可能です。
(38倍単眼鏡またはCCDカメラをオプション品として設置可能です。)

CCDカメラ仕様(オプション)


拡大鏡の代わりにCCDカメラ仕様もご用意できます。
倍率5倍~60倍での観察が可能です。

仕様

装置型番 SC-100
本体寸法 W225mm × D212mm × H297mm
本体重量 10kg
ワークサイズ寸法 φ100mm
適用試料 半導体ウェハー、サファイア、SiC、ガラス、セラミックス等
ワーク保持 真空チャック式
ステージ移動機構 マイクロメーター X方向=100mm
ステージ回転機構 θ=360° 微調整機構
スクライブ用針 ポイント式ダイヤモンド針 (または超硬ローラ刃)
ダイヤモンド刃 OS3P (Si,GaAs,Inp等)
3PR (サファイア、石英ガラス等)
けがき長 Y方向=122mm
けがき荷重 0g~350g (標準)
けがき角度 50°~70°
拡大鏡 25倍単眼鏡 (オプション38倍単眼鏡)
CCDカメラ 5倍~60倍 (オプション)

 

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