特注研磨装置

パネル型サンプルCMP研磨装置 MA-600e RECT

 

● 大型のパネル型サンプル(ガラスなど)表面のCMP研磨をするために開発されました。

● 回転台にサンプルを固定し、上部揺動ユニットのフレキシブルパッドにてサンプル表面を一様に研磨します。

● 圧空方式にて研磨荷重の微調整が可能。

● 本体横のタッチパネルでプログラム入力による簡単操作。

 

Siウエハー電解研磨システム

ロードセルによる2方向研磨抵抗測定システム

 

*仕様などご質問がございましたら、お問い合わせ下さい。

 

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