研磨盤の厚さ（新規製作時）

研磨盤の製作方法

研磨盤は上定盤をアルミ台座にエポキシ接着剤で固定して作成しています。
また溝付き研磨盤の場合には、接着後に上定盤に溝加工が施されます。
上定盤の接着後（溝付き研磨盤の場合は溝加工後）に研磨盤の表面に研削加工を行い、上定番の平坦精度を向上させています。

研磨盤の厚さについて（MF 銅盤の場合）

研磨盤の新規製作時の厚さは前述した切削加工によって決定されます。
切削加工は平行精度が10μm以内になるまで続けられます。
アルミ台座接着前の厚さは MF 銅盤は、
外径 Φ150mm、Φ200mm 上定盤の場合に 8mm 厚、
外径 Φ300mm、Φ381mm 上定盤の場合には 10mm 厚となっています。
溝付き研磨盤の場合はアルミ台座に接着後に1.7mmの溝加工が施されます。
その後、上定盤に研削加工が行い表面を0.1mm除去しますが、この加工は研磨盤の平行精度が10μmになるまで続けられます。
研磨加工の際に重要な平行精度を向上させるため、こうした方法での製作を行っています。

研磨盤の厚さ（新規製作時）については以上です。

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