SC-300

モデル SC-300

・最大12インチまでのウェハーがけがけます。

・けがき回数によるけがき線のズレがありません。

・こちらのモデルの照明はペンライト方式になります。(CCDカメラ変更の場合は不要となります)

仕様 SC-300

本体サイズ 425W x 460D x 275Hmm
重量 23kg
ワークテーブルサイズ φ320mm
回転機構 360°
角度目盛 0~120° /1° 180°(分解能1° 読み取り)
ロック機構
ワーク保持 真空チャック
シリコンゴムシート オプション
ワークサイズ φ300×4t以下
スクライブ軸 Y軸
支持方式 リニアレール門型支持
直進性 20μm以下
ストローク -155~+155mm
スクライブ位置決め軸 X軸
支持方式 ツマミネジクランプ方式
ストローク -150~+150mm
位置決め リニアスケール(分解能10μmデジタル表示)
単眼鏡 ×25(十字スケール入り)
テーブル上視野 -150~+130mm
CCD 工場オプションで搭載可能
スクライブ刃 SC-100に準ずる
ダイヤモンド刃 OS3P Si,GaAs,Inp,等用
3PR
ローラ刃 超硬材 118° 135° 150°
ケガキ荷重 ~400g
ケガキ荷重調整 ネジ式(約40g/回転)
加圧方式 SPR式スイングヘッド

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