SC-300

精密手動スクライバー SC-300

特長

SC-300は高いけがき精度を実現した精密手動スクライバーです。
最大12インチまでのウェハーをけがくことが可能です。
真空チャックにより試料に直接触れたり押さえたりせずに作業可能です。
人力に頼らない、バネの力で一定の圧力でのけがきを実現しました。
簡単な操作で断面観察用試料が容易に作成可能です。
位置決め用に最小単位10µmのリニアスケールを採用しました。
標準仕様では25倍単眼鏡での観察が可能です。
(38倍単眼鏡またはCCDカメラをオプション品として設置可能です。)

CCDカメラ仕様(オプション)

拡大鏡の代わりにCCDカメラ仕様もご用意できます。
倍率5倍~60倍での観察が可能です。

仕様

装置型番 SC-300
本体寸法 W425mm × D460mm × H275mm
本体重量 23kg
ワークテーブル寸法 φ320mm
テーブル視野 -150mm ~+130mm
ワークサイズ寸法 φ300mm × t4
適用試料  -
ワーク保持 真空チャック式
シリコンゴムシート オプション
ステージ移動機構 マイクロメーター X方向:160mm
ステージ回転機構 360°
角度目盛り 0~120° /1° 180°(分解能1° 読取)
ロック機構 付属
けがき針 ポイント式ダイヤモンド針
ダイヤモンド刃 OS3P (Si,GaAs,Inp試料向け)
3PR
ローラ刃 超硬材 (118° 135° 150°)
けがき長 Y方向:170mm
けがき荷重 0g~400g
けがき荷重調整 ネジ式機構 (40g/1回転)
加圧方式 SPR式スイングヘッド
けがき角度 50°~70°
スクライブ軸 Y軸
支持方式 リニアレール門型支持
直進性 20μm以下
ストローク -155mm ~+155mm
拡大鏡 25倍単眼鏡 (オプション38倍単眼鏡)
CCDカメラ 5倍~60倍 (オプション)

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