イオンミリング装置

 

E.A. Fischione社製イオンミリング装置
MODEL 1051
TEMMill

最新式のイオンミリング/ポリッシングシステムです。
あらゆる材質に対して、大面積の電子線透過領域を持つ高品質のTEM試料を作成する事が可能です。

Model 1051 TEM Mill 仕様

イオン源 ・2個のTrueFocusイオン源

・加速電圧(100eV~10keV)

・ビーム電流密度(~10mA/cm2)

・ミリング角度(-15°~+10°)

・使用するイオン源の選択が可能(1個または2個)

・モーター駆動によるミリング角度の調整(オプション)

試料ホルダー ・作業性、放熱性を考慮したデザイン(ローディングステーション付き)

・クランプ機構により、影を作らずに0°までの両面ミリングが可能

・X-Y方向の位置調整が可能な試料ホルダー及びローディングステーション(オプション)

試料ステージ ・360°連続回転(ビームシークエンス付き)

・ロッキング(首振り)

試料冷却(オプション) ・内蔵デュワーを用いた液体窒素冷却(温度インターロック機構付き)

・アクセスのし易い位置にデュワーを配置

・冷却時間: ・標準デュワー(3~5時間)・拡張デュワー(18+時間)

照明 ・試料上部(反射照明)及び試料下部(透過照明)の2つの照明を装備
自動停止   ・タイマー、温度、レーザー検知(オプション)による自動停止機能
真空システム ・ターボ分子ポンプ及びダイヤフラムポンプ(オイルフリー)による排気機構

・コールドカソード及びフルレンジゲージによる真空度測定

プロセスガス ・アルゴンガス(99.999%)、供給ガス圧15psi

・2つのマスフローコントローラーによる自動流量制御

ユーザーインターフェース   ・10インチタッチパネル

・シグナルタワー(オプション)

顕微鏡(オプション)  ・ロードロック上部に下記顕微鏡の搭載が可能

・7~45×実体顕微鏡

・1,960×高倍率デジタルマイクロスコープ

観察/イメージング     ・実体顕微鏡または高倍率デジタルマイクロスコープにより、ミリング位置     にある試料の観察が可能(オプション)

・シャッターが自動開閉し、スッパタリングによる観察窓の汚れを防止

真空/不活性ガス封入移動カプセル

(オプション)

・封入移動カプセルを利用する事で、試料を真空下/不活性ガス下での試料     の移動及び保管が可能
装置サイズ ・幅:66cm

・奥行:52cm

・高さ:33cm(本体上部)62cm(実体顕微鏡上部)

装置重量

電源 

保証期間 

・73kg

・100VAC、50/60Hz, 720W

・1年

 

SEM Mill
MODEL 1061

最新式のイオンミリング/ポリッシングシステムです。コンパクトで精密な装置構成で、あらゆる材質・用途に対して、高品質で再現性の高いSEM試料の作成が可能です。

Model 1060 SEM Mill 仕様

イオン源 ・TrueFocusイオン源(ビーム径が可変)を2つ搭載

・加速電圧(100eV~10keV)

・ビーム電流密度(~10mA/cm2)

・ミリング角度(0°~+10°)

・ミリングに使用するイオン源の選択が可能
(シングルビーム又はデュアルビームを選択)

・手動またはモーター駆動(オプション)によるミリング
角度の設定

・左右イオン源の加速電圧を個別に制御

・ビーム径が可変

試料ステージ ・試料サイズ
・断面試料
最大:10mm×10mm×4mm
最小:3mm×3mm×0.7mm・平面試料
φ32mm×高さ25mm・試料の厚さを自動検知(赤色レーザーを使用)

・360°連続回転(回転速度可変)

・ロッキング(首振り)

・磁気エンコーダーによる高精度な位置制御

試料ホルダー ・平面ミリング用ホルダー

・包埋試料用ホルダー

・断面試料用ホルダー(オプション)

断面試料用ローディングステーション(オプション) ・高い位置決め精度(X、Y、θ方向)

・半導体デバイス、多層試料、セラミックス、硬質/
脆いサンプルを含め、さまざまな材質に対して有効

・フラットでダメージのない試料を作製

・さまざまなサイズの試料及びマスクの利用が可能
横方向、角度方向への試料とマスクのアライメト

試料冷却(オプション)  ・液体窒素により‐170℃までの冷却が可能
下記2種類のデュワーサイズから選択・標準タイプ:3~5時間の冷却・長時間タイプ:18時間以上の冷却
その場観察/イメージング(オプション) ・実体顕微鏡(7~45倍)または高倍率デジタルマイク
ロスコープ(1960倍)により、ミリング位置にある試料の観察が可能・シャッターが自動開閉し、観察窓がスッパタリン
グにより汚れることを防止
真空システム  ・ターボ分子ポンプ及びダイヤフラムポンプ(オイルフリー)による排気       機構

・コールドカソード及びフルレンジゲージによる真空度測定

真空/不活性ガス封入移動カプセル

(オプション)

 ・真空中または不活性ガス中での試料の移動または保管が可能
プロセスガス ・アルゴン純度:99.999%、圧力:15psi(0.1MPa)
流量:0.2sccm/イオン源・2つのマスフローコントローラーによる自動流量制御
自動停止 ・タイマーまたは温度制御による自動停止機能
ユーザーインターフェース ・10インチスクリーンによる制御

・シグナルタワー(オプション)

装置サイズ ・幅:66cm

・奥行:52cm

・高さ:33cm(本体上部)62cm(実体顕微鏡上部)

装置重量

電源

保証期間

 ・73kg

・100VAC、50/60Hz, 720W

・1年

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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