ポリシング用アルミ盤(ツバ付き)

ポリシング用アルミ盤(ツバ付き)

ポリシングクロスを貼り付けて使用するアルミ盤です。
外周にあるツバによりCMP液中研磨作業が可能です。

特長

●ポリシングクロス(4FV1)やCMPパッドを貼り付けて使用するアルミ盤です。
●CMP用研磨剤などを使用して液中研磨作業が行えます。
●テフロンコーティング仕様のものは、より簡易に貼り替え作業を行うことが可能です。

●液中CMP研磨の概略図

 

仕様

製品名 ポリシング用アルミ盤(ツバ付き)
材質 アルミ (アルマイト処理)
粒度 0.015µm ~ 3µm
研磨剤 コロイダルシリカ研磨剤・ケミカルリキッド ……など
工程 中仕上げ研磨・仕上げ研磨・最終仕上げ研磨・CMP研磨
備考 研磨盤外周のツバにより、CMP研磨などの液中研磨作業が行えます。
ポリシングクロス CMPパッド

 

ポリシング用アルミ盤(ツバ付き)は精密研磨装置で使用する研磨盤です。

MA-150 MA-200 MA-200e MA-300e
MA-400e MM-200

 

消耗品

シフトワックス(角棒) シフトワックス(丸棒) フタリックグルー アルコワックス

 

 

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