研磨盤

研磨盤

ダイヤモンド焼付けディスク

ダイヤモンド焼付けディスク

ダイヤモンドをレジンボンドで固定した研磨盤です。
仕上げ研磨前の予備研磨・予備研削を目的としています。

型式 砥粒 工程
レジノイド #80 ~ #4000 予備研磨
ビトリファイド #80 ~ #1800 予備研削

 

グラインディングプレート(固定砥粒式)

グラインディングプレート
(固定砥粒式)

試料のグラインディングに適したダイヤモンド埋め込み研磨パッドです。
耐水研磨紙の代替品として高い研削能力を発揮します。

型式 砥粒 工程
type 0 #80 粗研磨
type 1 #120 ~ #180 粗研磨
type 2 #220 ~ #320 粗研磨
type 3 #600 粗研磨
type 4 #1200 粗研磨

 

グラインディングディスク(遊離砥粒式)

NL ブルー盤 NL グリーン盤 NL イエロー盤

複数の金属材料を樹脂接着した研磨盤です。
数百µm単位での研磨作業に適しています。

型式 砥粒 工程
MM 490盤 9µm 粗研磨
NL ブルー盤 9µm ~ 45µm 粗研磨
NL グリーン盤 3µm ~ 15µm 中仕上げ研磨
NL イエロー盤 ≤ 3µm 仕上げ研磨

 

ラッピングディスク(遊離砥粒式)

MF 銅盤 HP セラミック盤 HP TX盤 MF プラスチック盤 
MF 錫盤

金属材料などを樹脂接着した仕上げ用研磨盤です。
平坦性が高く、エッジのシャープさを保った研磨を実現しました。
数十µmから数µm単位での研磨に適しています。

型式 砥粒 工程
MF 銅盤 2µm ~ 6µm 仕上げ研磨
HP セラミック盤 0.5µm ~ 3µm 仕上げ研磨
HP TX盤 0.25µm ~ 3µm 仕上げ研磨
MF プラスチック盤 0.5µm ~ 1µm 仕上げ研磨
MF 錫盤 0.1µm ~ 1µm 仕上げ研磨

 

ポリシング用アルミ盤

ポリシング用アルミ盤 アルミ盤(押さえリング付き) アルミ盤(ツバ付き) 耐水研磨紙

耐水研磨紙やポリシングクロスを貼り付けて使用するアルミ盤です。
テフロンコーティング仕様のアルミ盤ではクロスの貼り替えが簡易に行えます。

型式 粒度 工程
耐水研磨紙 P60 ~ P2000 粗研磨・中仕上げ研磨

 

ポリシングクロス

ポリシングクロス

素材に天然繊維および合成繊維を用いた研磨クロスです。
砥粒の小さい研磨剤と合わせて仕上げ研磨で使用します。

型式 砥粒 試料 工程
2TS4 1µm ~ 6µm 高硬質 中仕上げ研磨
仕上げ研磨
最終仕上げ研磨
CMP研磨
2TS5 0.5µm ~ 6µm 半硬質~硬質
2TS8 0.5µm ~ 6µm 半硬質~硬質
4FV1 0.015µm ~ 3µm 軟質

 

CMP用品

CMPクロス CMPパッド

CMP(科学機械研磨)工程で使用する研磨用品です。
アルミ盤(ツバ付き)に貼ることで、CMP溶液で満たした盤中で液中研磨を行うことが可能です。
また、平坦なアルミ盤に貼ることで、CMP溶液を滴下しての研磨が行えます。
ポリシングクロス等で取り切れなかった微細スクラッチ傷を取り除くことが可能です。

型式 砥粒 材質 工程
CMPクロス 0.015µm ~ 0.0825µm 特殊ポリエステル
ポリウレタン
CMP研磨
CMPパッド / IC1000 0.015µm ~ 0.0825µm 特殊ポリウレタン CMP研磨

 

研磨盤について

特長

精密な研磨作業を行うに当たって、研磨盤の選択が重要となります。
試料に含まれる材料・仕上がり目標を考慮し、最適な研磨盤をご提案いたします。

 研磨盤データ 砥粒 / 粒度 予備 中仕上げ 仕上げ 最終 CMP
ダイヤモンド焼付けディスク #80~#4000
CAMEO® DISK Platinium type 0 #80
CAMEO® DISK Platinium type 1 #120~#180
CAMEO® DISK Platinium type 2 #220~#320
CAMEO® DISK Platinium type 3 #600
CAMEO® DISK Platinium type 4 #1200
MM 490盤 9µm
NL ブルー盤 9µm~45µm
NL グリーン盤 3µm~15µm
NL イエロー盤 ≤ 3µm
MF 銅盤 2µm~6µm
HP セラミック盤 0.5µm~3µm
HP TX盤 0.25µm~3µm
MF プラスチック盤 0.5µm~1µm
MF 錫盤 0.1µm~1µm
耐水研磨紙 P60~P2000
ポリシングクロス 2TS4 1µm~6µm
ポリシングクロス 2TS5 1µm~6µm
ポリシングクロス 2TS8 1µm~6µm
ポリシングクロス 4FV1 0.015µm~3µm
CMPクロス 0.015µm~0.0825µm
CMPパッド IC1000 0.015µm~0.0825µm

 

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