各種試料ホルダー

真空チャック式ホルダー (コロ方式)

研磨量を設定し、自動で必要量の研磨が可能です。
研磨量の設定精度は±1μm以下 (最少読みとり1μmのダイヤルゲージ付き)、バックラッシュゼロのストッパー付きです。無荷重タイプ、ウェハーの直引きタイプ、埋込樹脂用もあります。
2″φ, 3″φ, 4″φ, 6″φ用がそろっています。その他特注品もお受けします。テクノビットで樹脂包埋した試料や、円筒試料をチャック固定し研磨が可能です。

 

高精度貼り付けホルダー (コロ方式)

研磨量を設定し、自動で必要量の研磨が可能です。
研磨量の設定精度は±1μm(最少読み取り1μmのダイヤルゲージ付)バックラッシゼロのストッパ付です。研磨終了を表示することも可能です。(オプション)微小傾き調整用2軸ゴニオ付も可能です。(オプション)
2in型 貼付け板径 φ52、φ68
3in型 貼付け板径 φ78

 

TEMホルダー (コロ方式)

透過電子顕微鏡の試料作成用です。
研磨量の設定精度は±5μm以下 (最少読みとり1μmのダイヤルゲージ付き)。無負荷タイプもあります。ご希望角度の斜め研磨用貼付ホルダーも用意できます。
貼付ホルダー径 : 40mmφ、52mmφ

 

厚さ調整ホルダー (コロ方式)

最少10μmの目盛りで研磨量を設定できます。標準は平板の貼付ホルダーですが、斜め研磨用ホルダー、挟み付けホルダー等の取り付けも可能です。
貼付ホルダー径 : 2″φ, 3″φ標準、その他特注品もお受けします。

 

ダイヤモンドストッパ付きホルダー (コロ方式)

3ヶのダイヤモンドストッパーが、ネジ込みになっており、研磨量を調整できます。又傾きの調整も可能です。
78mmφ, 107mmφ, 130mmφを用意しています。

 

貼付ホルダー (コロ又はパンタ方式、ガイドリング付きはコロ方式のみ)

ガイドシリング付きホルダーと平板ホルダーの2種類を用意しています。貼付面 (裏面) に平行に研磨を行うときは、ガイドリング付きを、既に平行の出ている材料や、研磨面に習って研磨を行うときは平板ホルダーを使用します。
貼付ホルダー径 : 78mmφ, 107mmφ, 130mmφを用意しています。

 

多目的ホルダー (コロ方式)

先端部の治具(貼付、挟み付け、斜め研磨)を取り替えることにより、多目的な研磨を行うことが出来ます。LN の端面研磨では、挟み付け治具を用いて、LNサンプルを外さずに治具を 裏返すことにより、両端面の平行研磨が可能です。
斜め研磨治具は標準5度ですが、分のオーダーで指定が可能です。
貼付ホルダー : 40mm×30mm
挟み付けホルダー:16W×16H×4tmm
斜め研磨ホルダー:40mm×20mm

 

一個掛け埋め込み試料ホルダー (コロ方式)

φ25用ホルダ(ガイド軸)
φ30用ホルダ(ガイド軸)
ガイドリングは1個掛け貼り付けホルダと共通です。テクノビットで樹脂包埋した試料や、円筒試料をチャック固定し研磨が可能です。

 

埋め込み試料ホルダー (パンタ又はコロ方式)

25mmφ(25.4φ)……3ヶ掛け・6ヶ掛け
30mmφ(31.8φ)……3ヶ掛け・6ヶ掛け
40mmφ(38.2φ)……3ヶ掛け
MA-150用は25mmφ3ヶ掛けのみです。又、特注にて各種サイズお引き受けします。
埋め込み用モールドの材質は、ポリエチレン、シリコンラバー、テフロンを用意しています。テクノビットで樹脂包埋した試料や、円筒試料をチャック固定し研磨が可能です。

 

パンタ方式ホルダー用挟み付けホルダー

板状試料の端面やブロック状試料を埋め込まず直接はさみつけて研磨します。
試料は3ヶ組で研磨します。
写真左 MA-300用、写真右 MA-200用

 

コロ方式ホルダー用挟み付けホルダー

3ヶの試料を挟み込み、ガイドリングを用いて、直角に研磨します。試料を外さずに上下面を研磨できるので、平行に仕上げることができます。試料サイズによりご希望の厚さの治具お引き受けします。角度付きも可能です。
LT. LN端面、光ファイバー用もお引き受けします。

 

2軸ゴニオメータ付き単結晶ラッピング治具 及び
X線回折装置への取り付けアタッチメント (コロ方式)

X線回折装置に取り付けて2軸の方位を修正して研磨します。

サンプルサイズ 30mmφ×5t
角度 ±5度
精度 0.5分
対象X線装置 理学電機社製X線回折計マック・サイエンス社製X線回折計等 対象装置についてはご相談下さい。
研磨機 MA-200
MA-200e
MA-300e
MA-400e

 

ガイドリング付
簡易型2軸ゴニオメータ研磨治具

X線ラウエカメラのレールに取り付けるアタッチメントを用いることによって、2軸の方位を修正して研磨します。

サンプルサイズ 30mm
角度 ±10度
精度 0.5分
最少読みとり 0.1度(バーニヤ)

 

偏荷重ホルダー

TEMホルダにより研磨した結果研磨面に傾きが見られた場合傾きを補正するため通常回転中心にセットする荷重をより研磨したい部分に重心を設定できるようになっている。

 

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